Dulang Pembawa Etsa PSS untuk Pemprosesan Wafer

Dulang Pembawa Etsa PSS Semicorex untuk Pemprosesan Wafer direka khusus untuk aplikasi peralatan epitaksi yang menuntut. Pembawa grafit ultra-tulen kami sesuai untuk fasa pemendapan filem nipis seperti MOCVD, suseptor epitaksi, platform lempeng atau satelit dan pemprosesan pengendalian wafer seperti etsa. Dulang Pembawa Etsa PSS untuk Pemprosesan Wafer mempunyai rintangan haba dan kakisan yang tinggi, sifat pengagihan haba yang sangat baik, dan kekonduksian terma yang tinggi. Produk kami adalah kos efektif dan mempunyai kelebihan harga yang baik. Kami memenuhi banyak pasaran Eropah dan Amerika dan berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Dulang Pembawa Etsa PSS untuk Pemprosesan Wafer daripada Semicorex direka bentuk untuk persekitaran yang keras yang diperlukan untuk pertumbuhan epitaxial dan proses pengendalian wafer. Pembawa grafit ultra-tulen kami direka bentuk untuk menyokong wafer semasa fasa pemendapan filem nipis seperti MOCVD dan susceptor epitaksi, lempeng atau platform satelit. Pembawa bersalut SiC mempunyai rintangan haba dan kakisan yang tinggi, sifat pengagihan haba yang sangat baik, dan kekonduksian terma yang tinggi. Produk kami adalah kos efektif dan menawarkan kelebihan harga yang baik.

Parameter Dulang Pembawa Etsa PSS untuk Pemprosesan Wafer

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	Fasa FCC Î²
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz bijirin	Î¼m	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300â)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300