Plat satelit

Plat satelit Semicorex adalah pembawa wafer penting semasa proses pertumbuhan epitaxial, menjamin pemendapan seragam dan kecekapan proses yang optimum. Dibina dari grafit kemerosotan tinggi dan disalut dengan lapisan silikon karbida (SIC) yang mantap, plat ini memberikan kestabilan haba yang luar biasa, rintangan kimia, dan kekuatan mekanikal, mengukuhkan kedudukannya sebagai komponen yang tidak diperlukan dalam pembuatan semikonduktor yang berprestasi tinggi.

Dengan asas grafit kemelut tinggi, plat satelit cemerlang dalam kekonduksian terma dan integriti struktur. TheSalutan sicSecara ketara meningkatkan ketahanannya, memberikan rintangan suhu tinggi, inertness kimia, dan secara dramatik mengurangkan penjanaan zarah. Kombinasi yang kuat ini memastikan bahawa plat bertahan dengan keadaan pemprosesan yang keras dan secara konsisten melakukan pada tahap yang tinggi. Asas grafit memudahkan pemindahan haba yang cekap, memastikan pengagihan suhu seragam merentasi wafer, manakala salutan SIC melindungi terhadap gas proses yang menghakis, mencegah pencemaran dan memanjangkan hayat perkhidmatan. Di samping itu, permukaan SIC meminimumkan pelepasan zarah, yang penting untuk mencapai fabrikasi semikonduktor hasil tinggi.

Direka khusus untuk integrasi lancar dengan sistem Aixtron G5+, plat satelit menjamin kedudukan wafer yang tepat dan keseimbangan putaran, penting untuk mengekalkan keadaan terma yang stabil dan mengurangkan kadar kecacatan. Komposisi bahan canggih plat bukan sahaja memanjangkan hayat perkhidmatannya tetapi juga mengurangkan kos operasi dan meningkatkan produktiviti pembuatan.

Terutamanya digunakan dalam proses pemendapan wap kimia organik logam (MOCVD), plat satelit adalah penting untuk lapisan epitaxial yang semakin meningkat pada wafer semikonduktor. Ia memainkan peranan penting dalam pengeluaran peranti semikonduktor canggih, termasuk LED, SIC dan elektronik kuasa berasaskan GAN, komponen fotonik dan optoelektronik, dan peranti RF frekuensi tinggi. Dengan memastikan keadaan terma yang stabil dan meminimumkan pencemaran, plat satelit menjamin pertumbuhan lapisan epitaxial yang konsisten, yang membawa kepada pengendalian wafer yang lebih baik dan kadar hasil yang lebih tinggi. Reka bentuk yang dioptimumkan menjamin sokongan wafer dengan cekap, mengurangkan kecacatan dan memastikan ketepatan sepanjang peringkat pemprosesan semikonduktor.

Plat satelit Semicorex berfungsi sebagai komponen penting untuk reaktor epitaxy Aixtron G5+, memberikan ketahanan yang tiada tandingan, rintangan kimia, dan prestasi terma. Komposisi dan kejuruteraan bahan canggih menjadikannya kritikal terhadap proses pembuatan semikonduktor, memastikan pengeluaran wafer hasil tinggi dan berkualiti tinggi. Melabur dalam plat satelit untuk meningkatkan fabrikasi semikonduktor anda dan mencapai kecemerlangan dalam proses pertumbuhan epitaxial.