Reseptor Epitaksi SiC

Dicipta dengan ketepatan dan direka bentuk untuk kebolehpercayaan, SiC Epitaxy Susceptor menampilkan rintangan kakisan yang tinggi, kekonduksian haba yang tinggi, rintangan kepada kejutan haba dan kestabilan kimia yang tinggi, membolehkan ia berfungsi dengan berkesan dalam suasana epitaxial.Oleh itu, SiC Epitaxy Susceptor dianggap sebagai teras dan komponen penting dalam peralatan MOCVD. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

SiC Epitaxy Susceptor ialah komponen kritikal yang digunakan dalam peralatan MOCVD untuk menyokong dan memanaskan substrat kristal tunggal. Parameter prestasi unggulnya seperti kestabilan terma dan keseragaman terma memainkan peranan penting dalam kualiti pertumbuhan bahan epitaxial, memastikan tahap keseragaman dan ketulenan yang tinggi dalam bahan filem nipis.

SiC Epitaxy Susceptor mempunyai ketumpatan yang sangat baik, memberikan perlindungan yang berkesan dalam suhu tinggi dan persekitaran kerja yang menghakis. Selain itu, tahap kerataan permukaannya yang tinggi memenuhi keperluan untuk pertumbuhan kristal tunggal pada permukaan substrat dengan sempurna.

Pekali minimum perbezaan pengembangan haba dalam SiC Epitaxy Susceptor dengan ketara meningkatkan kekuatan ikatan antara substrat epitaxial dan bahan salutan, sekali gus mengurangkan kemungkinan retak selepas mengalami kitaran haba suhu tinggi.

Pada masa yang sama, ia mempamerkan kekonduksian haba yang tinggi, memudahkan pengagihan haba yang cepat dan seragam untuk pertumbuhan cip. Selain itu, takat lebur yang tinggi, rintangan suhu, rintangan pengoksidaan dan rintangan kakisan membolehkan operasi yang stabil dalam persekitaran kerja suhu tinggi dan menghakis.

Sebagai komponen penting dalam ruang tindak balas peralatan MOCVD, SiC Epitaxy Susceptor mesti mempunyai kelebihan seperti rintangan suhu tinggi, kekonduksian terma seragam, kestabilan kimia yang baik dan rintangan kuat terhadap kejutan haba. Semicorex SiC Epitaxy Susceptor memenuhi semua keperluan ini.