Cincin Fokus Silikon Karbida

Cincin fokus silikon karbidabiasanya dipasang di dalam ruang tindak balas peralatan etsa, diletakkan di sekeliling permukaan sokongan wafer chuck elektrostatik. Susunan pemasangan ini berjaya mengisi perbezaan ketinggian antara pinggir wafer dan elektrod, memfokuskan plasma dalam ruang tindak balas ke permukaan wafer untuk mencapai etsa seragam dan juga menghalang penyebaran plasma keluar dari tepi wafer untuk mengelakkan masalah terlalu mengetsa tepi wafer.

Komponen etsa berkualiti tinggi boleh menyediakan persekitaran medan elektrik yang stabil untuk proses etsa. Cincin fokus silikon karbida Semicorex dihasilkan daripada prestasi tinggibahan silikon karbidamelalui pemendapan wap kimia. Cincin fokus kami mampu untuk melaraskan pengagihan medan elektrik di sekeliling wafer, dengan ketara mengurangkan penyelewengan goresan atau fenomena nyahcas yang disebabkan oleh medan elektrik yang tidak sekata.

Wafer semikonduktor mudah terdedah kepada pencemaran zarah, jadi proses etsa plasma mesti dijalankan dalam ruang tindak balas etsa ion ultra-bersih. Sebagai komponen utama peralatan etsa, cincin fokus silikon karbida bersentuhan langsung dengan tepi wafer dalam operasi sebenar, juga diperlukan untuk memenuhi piawaian kebersihan ultra tinggi. Cincin fokus silikon karbida Semicorex menawarkan kelebihan ketulenan tinggi dan kandungan kekotoran rendah, yang boleh memenuhi keperluan kebersihan yang ketat bagi proses goresan semikonduktor. Ini sangat menyumbang untuk mengurangkan kecacatan wafer dan meningkatkan hasil pengeluaran wafer.

Semasa proses etsa plasma, gas etsa seperti fluorin dan oksigen dimasukkan ke dalam ruang tindak balas. Rintangan kakisan kimia peralatan etsa sangat dicabar oleh kakisan jangka panjang yang disebabkan oleh gas proses. Dengan sifat rintangan yang unggul terhadap kakisan plasma, silikon karbida adalah pilihan bahan yang optimum untuk pembuatan cincin fokus. Dengan mengurangkan kemungkinan kerosakan komponen yang berkaitan dengan kakisan dan meminimumkan keperluan untuk penggantian dan penyelenggaraan yang kerap, cincin fokus silikon karbida boleh meningkatkan kecekapan pembuatan wafer semikonduktor dengan ketara.