Sirip Silikon Karbida Pepejal

Semicorex pepejalsirip silikon karbidabiasanya dipasang sebagai komponen penebat haba di dalam tiub relau menegak peralatan rawatan haba semikonduktor, seperti relau penyepuhlindapan RTP dan relau resapan. Sirip karbida silikon pepejal semicorex boleh mengawal pengedaran suhu dengan berkesan dalam relau suhu tinggi dan meminimumkan kerosakan haba untuk memproses bahagian pengedap pintu yang disebabkan oleh suhu tinggi. Dalam keadaan operasi pengoksidaan basah, sirip silikon karbida pepejal Semicorex boleh digunakan untuk mencegah kesan negatif ke atas hasil proses dan peranti semikonduktor dengan berkesan yang disebabkan oleh pemeluwapan wap air pada suhu proses yang agak rendah.

Kelebihan sirip karbida silikon pepejal Semicorex

1. rintangan haus yang sangat baik

CVD SiC mempunyai struktur kristal padu polihabluran, dengan kekerasan luar biasa kedua selepas berlian. Rintangan haus yang sangat baik bagi sirip silikon karbida pepejal Semicorex dikaitkan dengan sifat ini, menjadikannya tahan lelasan semasa pengendalian dan penggantian.

2. Kapasiti pengurusan haba yang unggul

CVD SiC memberikan rintangan haba yang sangat baik dan kestabilan suhu tinggi, yang tidak cair atau lembut pada suhu sehingga kira-kira 2000°C dan mengekalkan kestabilannya sebelum pemejalwapan suhu ultra tinggi. Terima kasih kepada ciri terma yang unggul ini, sirip karbida silikon pepejal Semicorex sangat sesuai untuk keadaan pemprosesan rawatan haba semikonduktor yang mencabar.

3. Kebersihan sangat tinggi

CVD-SiCdihasilkan tanpa bahan tambahan pensinteran semasa proses pemendapan. Berbanding dengan karbida silikon terikat tindak balas konvensional, ia mempunyai ketulenan yang lebih tinggi, mencapai lebih 99.9995%. Ini secara berkesan menghalang pencemaran kekotoran logam sirip karbida silikon pepejal Semicorex yang disebabkan oleh suhu tinggi dalam persekitaran proses, dengan sempurna memenuhi keperluan kebersihan pembuatan semikonduktor termaju.

4. rintangan kakisan yang boleh dipercayai

Sirip silikon karbida pepejal semicorex boleh menahan gas proses yang sangat mengoksida dan berasid yang digunakan dalam proses rawatan haba semikonduktor, disebabkan oleh sifat lengai kimia CVD SiC yang luar biasa pada suhu tinggi. Rintangan kakisan yang boleh dipercayai ini memanjangkan hayat perkhidmatannya dengan berkesan, mengurangkan kos penggantian komponen.

5. Ketepatan pemesinan yang tepat

Untuk memastikan keserasian dengan tiub relau yang berbeza, Semicorex boleh menyesuaikan sirip karbida silikon pepejal mengikut keperluan pelanggan untuk diameter, ketebalan, saiz lubang, kerataan dan toleransi dimensi. Ketepatan pemesinan standard tinggi ini menjamin operasi stabil sirip dalam peralatan dan membantu mengoptimumkan kecekapan keseluruhan aplikasi rawatan haba semikonduktor.