Cincin Fokus Karbida Silikon Pepejal

Cincin Fokus Karbida Silikon Pepejal Semicorex ialah komponen penting dalam pembuatan semikonduktor, diletakkan secara strategik di luar wafer untuk mengekalkan hubungan langsung. Dengan menggunakan voltan yang dikenakan, gelang ini memfokuskan plasma yang melintasinya, dengan itu meningkatkan keseragaman proses pada wafer. Dibina semata-mata daripada Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide (CVD SiC), cincin fokus ini merangkumi kualiti luar biasa yang dituntut oleh industri semikonduktor. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Cincin Fokus Karbida Silikon Pepejal berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Dalam fabrikasi semikonduktor, Cincin Fokus Karbida Silikon Pepejal Semicorex memainkan peranan penting dengan bertindak sebagai perisai, memelihara integriti wafer semasa proses goresan. Reka bentuknya yang direka dengan teliti memastikan goresan yang tepat dan seragam, dengan itu memudahkan penghasilan elemen semikonduktor yang sangat rumit yang mempamerkan prestasi dan kebolehpercayaan yang unggul.

Silikon karbida adalah bahan pilihan untuk cincin pemfokus kerana rintangannya yang unggul terhadap kakisan plasma apabila terdedah kepada plasma dalam ruang tindak balas vakum. Cincin Fokus Karbida Silikon Pepejal mengatasi prestasi silikon tradisional dalam beberapa aspek, termasuk:

(1) Ketumpatan tinggi yang meminimumkan kadar goresan.

(2) Jurang jalur unggul dan sifat penebat yang sangat baik.

(3) Kekonduksian haba yang luar biasa, pekali pengembangan haba yang rendah, dan rintangan kejutan haba.

(4) Keanjalan yang tinggi ditambah dengan rintangan yang sangat baik terhadap kesan mekanikal.

(5) Kekerasan yang luar biasa, rintangan haus, dan rintangan kakisan.

Kekonduksian silikon karbida dan rintangan terhadap etsa ion adalah serupa dengan silikon, menjadikan Cincin Fokus Karbida Silikon Pepejal bahan yang sesuai untuk aplikasi ini.

Cincin Fokus Karbida Silikon Pepejal Semicorex berdiri sebagai penyelesaian terkini dalam bidang pembuatan semikonduktor. Ia memanfaatkan sifat unik CVD SiC untuk memudahkan proses goresan berprestasi tinggi yang boleh dipercayai, menyumbang dengan ketara kepada kemajuan teknologi semikonduktor.