Susceptor dengan Grid

Semicorex Susceptor dengan Grid ialah komponen khusus yang digunakan dalam proses pertumbuhan epitaxial wafer semikonduktor. Peralatan kritikal ini direka bentuk untuk membawa dan menyokong wafer semasa pemendapan bahan dalam sistem Pemendapan Wap Kimia Logam-Organik (MOCVD). Susceptor dengan Grid memainkan peranan penting dalam memastikan pertumbuhan seragam dan terkawal lapisan epitaxial pada wafer semikonduktor.

Susceptor dengan Grid dibina dengan bahan yang dioptimumkan untuk fungsinya. Dalam kes ini, ia diperbuat daripada grafit bersalut MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide). Pilihan bahan ini memberikan beberapa kelebihan, termasuk rintangan suhu tinggi, kestabilan kimia, dan kekonduksian terma yang sangat baik. Salutan SiC pada grafit meningkatkan ketahanan susceptor dan rintangan kepada keadaan teruk yang dihadapi semasa proses pertumbuhan epitaxial.

Susceptor dengan struktur Grid berfungsi sebagai mekanisme sokongan untuk wafer semikonduktor. Ia direka secara strategik untuk memegang wafer dengan selamat di tempatnya sambil membenarkan pengaliran gas yang cekap dan pemendapan bahan yang seragam. Corak grid membantu mengagihkan haba dan bahan tindak balas secara sama rata merentasi permukaan wafer, menyumbang kepada kawalan tepat ketebalan dan komposisi lapisan epitaxial.

Semicorex Susceptor dengan Grid ialah komponen kritikal dalam proses pembuatan peranti semikonduktor termaju. Pembinaan teguh dan reka bentuk khusus menjadikannya alat penting untuk mencapai pertumbuhan epitaxial berkualiti tinggi, memastikan pengeluaran semikonduktor dengan prestasi unggul dan kebolehpercayaan.