Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari.
Tantalum karbida (TaC) adalah sebatian yang terdiri daripada tantalum dan karbon. Ia mempunyai kekonduksian elektrik logam dan takat lebur yang sangat tinggi, menjadikannya bahan seramik refraktori yang terkenal dengan kekuatan, kekerasan dan rintangan haba dan hausnya. Takat lebur Tantalum Carbides memuncak pada kira-kira 3880°C bergantung kepada ketulenan dan mempunyai salah satu takat lebur tertinggi di antara sebatian binari. Ini menjadikannya alternatif yang menarik apabila permintaan suhu yang lebih tinggi melebihi keupayaan prestasi yang digunakan dalam proses epitaxial semikonduktor kompaun seperti MOCVD dan LPE.
Data bahan Salutan TaC Semicorex
Projek |
Parameter |
Ketumpatan |
14.3 (gm/cm³) |
Emisiviti |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Rintangan (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Kestabilan Terma |
<2500 ℃ |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai rujukan) |
Ketebalan Salutan |
≥20um nilai biasa (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai biasa |
|
Semicorex TaC Coating Jig berdiri sebagai komponen penting dalam proses pembuatan semikonduktor, dibuat dengan teliti daripada grafit dan diperkuat dengan lapisan tahan lasak salutan tantalum karbida. Elemen peralatan penting ini merangkumi gabungan sains bahan termaju dan kejuruteraan ketepatan, direka untuk mendukung permintaan operasi yang ketat dan piawaian yang tepat yang lazim dalam fabrikasi semikonduktor. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex TaC Coating Susceptor mewakili kemuncak dalam kejuruteraan bahan, direka dengan teliti daripada grafit berkualiti tinggi dan diperkuat dengan salutan tantalum karbida. Terutamanya direka bentuk untuk pekerjaan dalam pertumbuhan kristal SiC dan proses epitaxial SiC, komponen inovatif ini berdiri sebagai mercu tanda ketahanan dan prestasi dalam persekitaran haba dan kimia yang melampau. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanCincin Bersalut Semicorex Tantalum Carbide ialah komponen penting yang digunakan dalam pemprosesan semikonduktor. Ia direka bentuk dengan salutan khusus yang menjalankan pelbagai fungsi untuk meningkatkan kecekapan dan jangka hayat komponen grafit dalam jentera semikonduktor. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanBahagian Grafit Bersalut Semicorex TaC ialah komponen buatan ketepatan yang direka khas untuk menahan persekitaran pemprosesan semikonduktor yang menuntut. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanPenutup Grafit Salutan TaC Semicorex mewakili penyelesaian termaju dalam bidang aplikasi terma untuk pertumbuhan kristal dan proses epitaxial (epi). Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanCincin Salutan TaC Semicorex berdiri sebagai komponen penting dalam bidang pertumbuhan monohablur dalam medan haba. Dicipta dengan ketepatan dan inovasi, cincin panduan khusus ini memainkan peranan penting dalam proses rumit pengeluaran bahan monohabluran. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar Pertanyaan