Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari.
Tantalum karbida (TaC) adalah sebatian yang terdiri daripada tantalum dan karbon. Ia mempunyai kekonduksian elektrik logam dan takat lebur yang sangat tinggi, menjadikannya bahan seramik refraktori yang terkenal dengan kekuatan, kekerasan dan rintangan haba dan hausnya. Takat lebur Tantalum Carbides memuncak pada kira-kira 3880°C bergantung kepada ketulenan dan mempunyai salah satu takat lebur tertinggi di antara sebatian binari. Ini menjadikannya alternatif yang menarik apabila permintaan suhu yang lebih tinggi melebihi keupayaan prestasi yang digunakan dalam proses epitaxial semikonduktor kompaun seperti MOCVD dan LPE.
Data bahan Salutan TaC Semicorex
Projek |
Parameter |
Ketumpatan |
14.3 (gm/cm³) |
Emisiviti |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Rintangan (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Kestabilan Terma |
<2500 ℃ |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai rujukan) |
Ketebalan Salutan |
≥20um nilai biasa (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai biasa |
|
Cincin Panduan Bersalut Semicorex TaC, kemuncak inovasi dalam relau pertumbuhan kristal tunggal SiC (Silicon Carbide). Direka dengan teliti untuk memenuhi permintaan industri semikonduktor yang mendesak, cincin panduan ini menjanjikan untuk mentakrifkan semula proses pertumbuhan kristal anda dengan ketepatan dan kebolehpercayaan yang tiada tandingan.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex termaju TaC Coated Graphite Susceptor, komponen revolusioner yang direka untuk meningkatkan proses epitaxial wafer anda ke tahap kecekapan dan ketepatan yang baharu. Dicipta dengan kepakaran yang tiada tandingan dan menggunakan teknologi terkini, Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor direka bentuk untuk memenuhi permintaan yang tepat bagi pembuatan semikonduktor.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex menyediakan Bahagian Grafit Bersalut Tantalum Carbide berkualiti tinggi dengan perkhidmatan tersuai. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex menyediakan Susceptor Grafit Bersalut Tantalum Carbide dengan perkhidmatan tersuai. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex TaC Coated Porous grafit, ialah bahan ketulenan tinggi termaju pada pemprosesan semikonduktor. Peralatan penting ini memainkan peranan penting dalam proses pertumbuhan SiC kristal tunggal. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengilang profesional, kami ingin memberikan anda Cincin Bersalut TaC. Memperkenalkan Cincin Bersalut Tac CVD, penyelesaian tercanggih untuk peralatan semikonduktor. Produk termaju ini mempunyai salutan pemendapan wap kimia (CVD) termaju yang memberikan ketahanan dan ketahanan yang luar biasa terhadap haus dan lusuh.
Baca LagiHantar Pertanyaan