Bot SiC 6 inci

Semicorex 6 Inch SiC Boat ialah pembawa wafer termaju yang direka untuk mengoptimumkan prestasi dan kecekapan pemprosesan semikonduktor suhu tinggi, khusus untuk aplikasi seperti pengoksidaan, resapan dan proses terma lain. Diperbuat daripada silikon karbida (SiC) berkualiti tinggi, produk ini menawarkan penyelesaian teguh untuk memegang wafer semikonduktor semasa operasi suhu tinggi yang kritikal, memberikan kestabilan terma yang unggul, rintangan kakisan yang sangat baik dan risiko pencemaran yang minimum.

Bot SiC 6 Inch dihasilkan menggunakan silikon karbida (SiC) ketulenan tinggi, bahan yang terkenal dengan sifat terma yang luar biasa, rintangan kimia dan ketahanan dalam persekitaran yang keras. SiC digunakan secara meluas dalam pembuatan semikonduktor kerana takat leburnya yang tinggi (kira-kira 2,700°C), menjadikannya sesuai untuk aplikasi suhu tinggi seperti pemprosesan wafer dalam relau pengoksidaan dan resapan. Reka bentuk bot memastikan integriti struktur yang sangat baik dan pengagihan haba yang seragam, yang penting untuk mencapai hasil yang konsisten dalam pertumbuhan kristal semikonduktor, pengoksidaan dan rawatan haba yang lain.

Ciri dan Faedah Utama

Kestabilan Terma Tinggi

Kekonduksian haba SiC yang luar biasa memastikan Bot SiC 6 Inch boleh menahan suhu yang melampau tanpa melengkung atau merendahkan. Sifat ini amat berharga semasa proses pengoksidaan dan resapan, di mana kawalan suhu yang tepat adalah penting untuk pemprosesan wafer yang konsisten.

Rintangan Kimia Cemerlang

Rintangan sedia ada silikon karbida terhadap kakisan kimia menjadikan bot sesuai untuk digunakan dalam persekitaran yang terdedah kepada gas agresif, seperti oksigen, nitrogen atau unsur reaktif lain, adalah perkara biasa. Bot itu mengekalkan integriti dan prestasi strukturnya dalam persekitaran bersuhu tinggi, reaktif kimia, mengurangkan kemungkinan pencemaran.

Ketahanan Suhu Tinggi

Bot SiC 6 Inch direka bentuk untuk berprestasi dalam suhu sehingga 1,500°C, satu keperluan untuk banyak proses semikonduktor suhu tinggi, termasuk pengoksidaan dan resapan. Toleransi suhu tinggi ini memastikan hayat perkhidmatan yang panjang walaupun dalam aplikasi yang menuntut.

Risiko Pencemaran Rendah

Salah satu faktor kritikal dalam pemprosesan semikonduktor ialah meminimumkan pencemaran permukaan wafer. Tahap kekotoran rendah SiC dan sifat tidak reaktif memastikan Bot SiC 6 Inci menyumbang kepada persekitaran yang bersih dan terkawal, sekali gus mengurangkan risiko pencemaran yang tidak diingini semasa pemprosesan.

Sokongan Wafer Seragam

Reka bentuk bot memastikan wafer disokong sama rata, mengekalkan penjajaran wafer optimum dan mengelakkan sebarang kendur atau salah jajaran semasa pemprosesan suhu tinggi. Sokongan seragam ini penting untuk memastikan hasil yang konsisten dan mencegah kecacatan wafer.

Pilihan Penyesuaian

Bot SiC 6 Inch boleh disesuaikan untuk memenuhi keperluan pelanggan tertentu, termasuk saiz, bentuk dan konfigurasi yang disesuaikan untuk jenis wafer yang berbeza. Sama ada digunakan untuk pengoksidaan, resapan atau proses terma lain, bot boleh dioptimumkan untuk aliran proses tertentu pelanggan.

Aplikasi dalam Pembuatan Semikonduktor

Bot SiC 6 Inch digunakan terutamanya dalam proses terma suhu tinggi dalam pembuatan semikonduktor. Ia amat berkesan dalam relau pengoksidaan dan resapan, di mana kawalan suhu dan atmosfera yang tepat diperlukan untuk pemprosesan wafer yang berjaya.

• Proses Pengoksidaan: Semasa proses pengoksidaan, wafer silikon terdedah kepada oksigen pada suhu tinggi untuk membentuk lapisan silikon dioksida nipis pada permukaan wafer. Bot SiC 6 Inch memastikan bahawa wafer dipegang dengan selamat dan sekata semasa proses suhu tinggi ini, mencegah ubah bentuk atau salah jajaran dan memastikan pertumbuhan lapisan oksida yang seragam.
• Proses resapan: Dalam proses resapan, dopan dimasukkan ke dalam wafer silikon untuk mengubah suai sifat elektriknya. Bot SiC menyediakan sokongan yang stabil dan boleh dipercayai untuk wafer semasa langkah kritikal ini, di mana suhu tinggi dan kawalan tepat terhadap persekitaran resapan adalah yang terpenting. Kestabilan haba yang sangat baik memastikan pemanasan seragam, yang penting untuk mencapai profil dopan yang dikehendaki.
• Aplikasi Suhu Tinggi Lain: Di luar pengoksidaan dan resapan, Bot SiC 6 Inch boleh digunakan dalam proses suhu tinggi yang lain, seperti penyepuhlindapan, nitridasi dan pertumbuhan epitaxial. Kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan kepada kejutan haba menjadikannya penyelesaian serba boleh untuk pelbagai peringkat fabrikasi peranti semikonduktor.

Kelebihan Berbanding Bahan Lain

Berbanding dengan bahan tradisional seperti kuarza atau grafit, silikon karbida menawarkan kelebihan yang ketara dalam pembuatan semikonduktor. Bot kuarza lebih terdedah kepada kejutan haba dan tindak balas kimia, manakala bot grafit boleh mengeluarkan gas dan menyebabkan pencemaran. Bot SiC, sebaliknya, mengekalkan prestasinya dalam persekitaran yang keras tanpa risiko pencemaran, ketidakstabilan haba atau degradasi. Ini menjadikan Bot SiC 6 Inch pilihan yang lebih dipercayai dan cekap untuk pemprosesan semikonduktor suhu tinggi.

Semicorex 6 Inch SiC Boat ialah komponen kritikal dalam industri semikonduktor, menyediakan kestabilan yang diperlukan, rintangan kimia dan prestasi terma yang diperlukan untuk pemprosesan wafer lanjutan. Kekonduksian terma yang tinggi, ketahanan terhadap kakisan kimia, dan risiko pencemaran yang minimum menjadikannya pilihan ideal untuk pengoksidaan, resapan dan proses semikonduktor suhu tinggi yang lain. Sama ada digunakan dalam penyelidikan dan pembangunan atau pengeluaran berskala besar, Bot SiC 6 Inch memberikan prestasi dan kebolehpercayaan yang diperlukan untuk memastikan hasil kualiti tertinggi dalam pembuatan semikonduktor.