Semicorex menyediakan seramik gred semikonduktor untuk alat separa fabrikasi OEM anda dan komponen pengendalian wafer yang memfokuskan pada lapisan silikon karbida dalam industri semikonduktor. Kami telah menjadi pengilang dan pembekal Pembawa Wafer Seramik selama bertahun-tahun. Produk kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Pembawa Wafer Seramik Silikon Karbida mempunyai ketahanan yang baik terhadap kakisan dan rintangan yang sangat baik terhadap suhu tinggi dan kejutan haba. Modulus keanjalan yang tinggi seterusnya menghasilkan kestabilan dimensi yang sangat baik. Selain itu, terdapat keliangan sifar dan ketumpatan liang rendah bahan seramik.
Kami boleh memproses semua jenis Pembawa Wafer Seramik mengikut keperluan pelanggan.
Parameter Pembawa Wafer Seramik
Sifat Teknikal |
||||
Indeks |
Unit |
Nilai |
||
Nama Bahan |
Tindak balas Sintered Silicon Carbide |
Silikon Karbida Tersinter Tanpa Tekanan |
Karbida Silikon Terhablur Semula |
|
Komposisi |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Ketumpatan Pukal |
g/cm3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
Kekuatan lentur |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
Kekuatan Mampatan |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Kekerasan |
Butang |
2700 |
2800 |
/ |
Memecah Ketabahan |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Kekonduksian Terma |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Pekali Pengembangan Terma |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Haba Tertentu |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Suhu maksimum dalam udara |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulus Elastik |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Semicorex menghasilkan Pembawa Wafer Seramik dalam tiga bentuk, Reaction sintered silicon carbide(RBSiC), Pressureless sintered silicon carbide(SSiC) dan Recrystal silicon carbide(R-SiC).
Perbezaan antara SSiC dan RBSiC:
1. Proses pensinteran adalah berbeza. RBSiC adalah untuk menyusup Si bebas ke dalam silikon karbida pada suhu rendah, SSiC dibentuk oleh pengecutan semula jadi pada 2100 darjah.
2. SSiC mempunyai permukaan yang lebih licin, ketumpatan yang lebih tinggi dan kekuatan yang lebih tinggi, untuk beberapa pengedap dengan keperluan permukaan yang lebih ketat, SSiC akan menjadi lebih baik.
3. Masa penggunaan yang berbeza di bawah PH dan suhu yang berbeza, SSiC lebih panjang daripada RBSiC
Ciri-ciri Pembawa Wafer Seramik
Grafit bersalut SiC ketulenan tinggi
Rintangan haba yang unggul & keseragaman haba
Disalut kristal SiC halus untuk permukaan licin
Ketahanan tinggi terhadap pembersihan kimia
Bahan direka supaya keretakan dan delaminasi tidak berlaku.
Bentuk seramik silikon karbida yang tersedia:
● Batang seramik / pin seramik / pelocok seramik
● Tiub seramik / sesendal seramik / lengan seramik
● Cincin seramik / mesin basuh seramik / pengatur jarak seramik
● Cakera seramik
● Pinggan seramik / blok seramik
● Bola seramik
● Omboh seramik
● Muncung seramik
● Pisau seramik
● Bahagian seramik tersuai lain