Kayuh julur SiC tersuai

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle berfungsi sebagai penghubung kritikal antara sistem pemuatan wafer dan nadi relau resapan, bertanggungjawab untuk mengangkut bot wafer kuarza atau SiC yang sarat dengan wafer silikon ke dalam zon pemprosesan suhu tinggi. Reka bentuk dan sifat bahan mereka dioptimumkan dengan teliti untuk tugas yang mencabar ini:

Struktur Cantilever Teguh untuk Pengangkutan Wafer Stabil:Reka bentuk julur, dicirikan oleh lengan tegar yang memanjang ke dalam relau, memberikan kestabilan yang luar biasa dan kawalan tepat ke atas pergerakan wafer. Ini memastikan pengangkutan lancar dan bebas getaran, meminimumkan risiko pecah wafer atau salah jajaran semasa memuat dan memunggah.

Kapasiti Beban Tinggi untuk Pemprosesan Kelompok yang Cekap:Kekuatan dan ketegaran sedia ada seramik SiC membolehkan Paddle Cantilever SiC Custom untuk menampung beban berat wafer silikon, memaksimumkan daya pemprosesan setiap kitaran resapan dan menyumbang kepada volum pengeluaran yang lebih tinggi.

Kawalan Dimensi Tepat untuk Penyepaduan Lancar: Paddle Cantilever SiC Tersuai direka dengan teliti mengikut spesifikasi dimensi yang tepat, memastikan kesesuaian sempurna dalam sistem relau resapan dan memudahkan penyepaduan lancar dengan robot pengendalian wafer automatik.

Pemilihan seramik SiC, khususnyaSilikon Karbida Berikat Tindak Balas (RBSiC)danSilikon Karbida Tersinter (SSiC), sebagai bahan pilihan untuk Custom SiC Cantilever Paddle berpunca daripada ciri prestasi luar biasa mereka dalam persekitaran suhu tinggi:

Kestabilan Suhu Tinggi yang Tidak Berbelah bahagi: Dayung Cantilever SiC Tersuai mempamerkan ketahanan yang luar biasa terhadap ubah bentuk dan ranjatan walaupun pada suhu tinggi (sehingga 1600°C) yang ditemui dalam relau resapan. Ini memastikan sokongan wafer yang konsisten dan mengelakkan kendur atau lentur yang boleh menjejaskan keseragaman wafer.

Rintangan Kejutan Terma Luar Biasa:Keupayaan untuk menahan peralihan suhu yang pantas tanpa kerosakan adalah penting untuk mengekalkan integriti Custom SiC Cantilever Paddle sepanjang kitaran resapan yang tidak terkira banyaknya. Seramik SiC cemerlang dalam hal ini, meminimumkan risiko keretakan atau patah yang boleh menyebabkan masa henti yang mahal.

Pengembangan Terma Rendah untuk Penjajaran Tepat:Pengembangan terma minimum seramik SiC memastikan Dayung Cantilever SiC Tersuai mengekalkan kestabilan dimensinya merentasi julat suhu yang luas yang dialami semasa operasi. Ini penting untuk mengekalkan penjajaran wafer yang tepat dalam relau, memastikan pemanasan seragam dan profil resapan yang konsisten.