Tiub Relau Resapan

Tiub relau resapan biasanya dibuat daripada kuarza atau SiC ketulenan tinggi, yang kedua-duanya mempamerkan kestabilan terma yang luar biasa dan ketahanan terhadap tindak balas kimia. Ini penting kerana tiub relau resapan tidak boleh memasukkan bendasing ke dalam bahan semikonduktor yang sedang diproses. Malah kekotoran yang sedikit pun boleh memberi kesan buruk yang ketara terhadap prestasi dan kebolehpercayaan peranti semikonduktor yang direka.

Bahan yang digunakan dalam membina tiub relau resapan dipilih untuk ketulenan yang tinggi untuk mengelakkan pencemaran wafer semikonduktor semasa pemprosesan. Tiub relau resapan menahan suhu melampau yang dihadapi semasa pemprosesan semikonduktor tanpa mengubah bentuk atau menjejaskan integriti strukturnya. Ini memastikan prestasi yang konsisten dan boleh dipercayai dalam tempoh operasi yang berpanjangan. Selain kestabilan terma, tiub relau resapan juga mempamerkan ketahanan terhadap kesan menghakis bahan kimia dan gas yang digunakan dalam pemprosesan semikonduktor. Ini menghalang degradasi tiub dari masa ke masa dan memastikan umur panjang.

Sesetengah tiub relau resapan mungkin menampilkan pelapik yang diperbuat daripada bahan khusus untuk meningkatkan lagi prestasinya atau memberikan perlindungan tambahan terhadap pencemaran atau tindak balas kimia. Pelapik ini dipilih dengan teliti untuk melengkapkan sifat bahan tiub dan keperluan khusus proses fabrikasi semikonduktor.