End Effector untuk Pengendalian Wafer

Semicorex End Effector untuk Pengendalian Wafer adalah dimensi yang tepat dan stabil dari segi haba untuk pemprosesan wafer. Kami telah menjadi pengilang dan pembekal unsur salutan silikon karbida selama bertahun-tahun. Produk kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Semicorex End Effector untuk Pengendalian Wafer adalah dimensi yang tepat dan stabil dari segi haba, sambil mempunyai filem salutan CVD SiC yang licin dan tahan lelasan untuk mengendalikan wafer dengan selamat tanpa merosakkan peranti atau menghasilkan pencemaran zarah, yang boleh menggerakkan wafer semikonduktor antara kedudukan dalam peralatan pemprosesan wafer dan pembawa dengan tepat dan cekap. Salutan silikon karbida (SiC) ketulenan tinggi Pengesan Akhir kami untuk Pengendalian Wafer memberikan rintangan haba yang unggul, malah keseragaman terma untuk ketebalan dan rintangan lapisan epi yang konsisten, dan rintangan kimia yang tahan lama.

Di Semicorex, kami memberi tumpuan kepada menyediakan produk berkualiti tinggi dan kos efektif kepada pelanggan kami. End Effector kami untuk Pengendalian Wafer mempunyai kelebihan harga dan dieksport ke banyak pasaran Eropah dan Amerika. Kami menyasarkan untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda, menyampaikan produk berkualiti yang konsisten dan perkhidmatan pelanggan yang luar biasa.

Parameter Pengesan Akhir untuk Pengendalian Wafer

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	Fasa FCC Î²
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz bijirin	Î¼m	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300â)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300