Bot Wafer Epitaxial

Semicorex menyediakan bot wafer, alas dan pembawa wafer tersuai untuk konfigurasi menegak / lajur dan mendatar. Kami telah menjadi pengilang dan pembekal filem salutan silikon karbida selama bertahun-tahun. Bot Wafer Epitaxial kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Bot Wafer Epitaxial Semicorex, penyelesaian sempurna untuk pemprosesan wafer dalam pembuatan semikonduktor. Bot Wafer Epitaxial kami diperbuat daripada seramik silikon karbida (SiC) berkualiti tinggi yang memberikan ketahanan unggul terhadap suhu tinggi dan kakisan kimia.
Bot Wafer Epitaxial silikon karbida kami mempunyai permukaan licin yang meminimumkan penjanaan zarah, memastikan tahap ketulenan tertinggi untuk produk anda. Dengan kekonduksian terma yang sangat baik dan kekuatan mekanikal yang unggul, bot kami memberikan hasil yang konsisten dan boleh dipercayai.
Bot Wafer Epitaxial kami serasi dengan semua peralatan pemprosesan wafer standard dan boleh menahan suhu sehingga 1600°C. Ia mudah dikendalikan dan dibersihkan, menjadikannya pilihan yang kos efektif dan cekap untuk keperluan pembuatan anda.
Pasukan pakar kami komited untuk memberikan kualiti dan perkhidmatan yang terbaik. Kami menawarkan reka bentuk tersuai untuk memenuhi keperluan khusus anda, dan produk kami disokong oleh program jaminan kualiti kami.

Parameter Bot Wafer Epitaxial

Sifat Teknikal
Indeks	Unit	Nilai
Nama Bahan		Tindak balas Sintered Silicon Carbide	Silikon Karbida Tersinter Tanpa Tekanan	Karbida Silikon Terhablur Semula
Komposisi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Ketumpatan Pukal	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Kekuatan lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Kekuatan Mampatan	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Butang	2700	2800	/
Memecah Ketabahan	MPa m1/2	4.5	4	/
Kekonduksian Terma	W/m.k	95	120	23
Pekali Pengembangan Terma	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Haba Tertentu	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimum dalam udara	℃	1200	1500	1600
Modulus Elastik	Gpa	360	410	240

Perbezaan antara SSiC dan RBSiC:

1. Proses pensinteran adalah berbeza. RBSiC adalah untuk menyusup Si bebas ke dalam silikon karbida pada suhu rendah, SSiC dibentuk oleh pengecutan semula jadi pada 2100 darjah.

2. SSiC mempunyai permukaan yang lebih licin, ketumpatan yang lebih tinggi dan kekuatan yang lebih tinggi, untuk beberapa pengedap dengan keperluan permukaan yang lebih ketat, SSiC akan menjadi lebih baik.

3. Masa penggunaan yang berbeza di bawah PH dan suhu yang berbeza, SSiC lebih panjang daripada RBSiC

Ciri-ciri Bot Wafer Epitaxial Silicon Carbide

SiC ketulenan tinggi disalut oleh MOCVD
Rintangan haba yang unggul & keseragaman haba
Disalut kristal SiC halus untuk permukaan licin
Ketahanan tinggi terhadap pembersihan kimia
Bahan direka supaya keretakan dan delaminasi tidak berlaku.