> Produk > Seramik > Silikon Karbida (SiC) > Gelang Masuk Gas untuk Peralatan Semikonduktor

Produk

produk baru

Gelang Masuk Gas untuk Peralatan Semikonduktor

Semicorex ialah pengeluar dan pembekal Susceptor Grafit Bersalut Silikon Karbida berskala besar di China. Kami memberi tumpuan kepada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Cincin Masuk Gas kami untuk Peralatan Semikonduktor mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Cincin Masuk Gas Semicorex untuk Peralatan Semikonduktor adalah Bersalut SiC, iaitu salutan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan haus. Ia mempunyai sifat rintangan kakisan dan haba yang tinggi serta kekonduksian terma yang sangat baik. Kami menggunakan SiC dalam lapisan nipis pada grafit menggunakan proses pemendapan wap kimia (CVD).

Cincin Masuk Gas kami untuk Peralatan Semikonduktor direka untuk mencapai corak aliran gas lamina terbaik, memastikan kesamaan profil terma. Ini membantu mengelakkan sebarang pencemaran atau resapan kekotoran, memastikan pertumbuhan epitaxial berkualiti tinggi pada cip wafer.

Hubungi kami hari ini untuk mengetahui lebih lanjut tentang Cincin Masuk Gas kami untuk Peralatan Semikonduktor.

Parameter Cincin Masuk Gas untuk Peralatan Semikonduktor

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	fasa FCC β
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz Bijirin	μm	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300℃)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300