Relau ruang mendatar Sic Boats

Semikorex Boats Sic Boats adalah bahagian yang sangat kejuruteraan yang memegang dan membawa wafer atau substrat sementara mereka tertakluk kepada pemprosesan haba suhu tinggi dalam relau ruang mendatar. Bot wafer diperbuat daripada hubungan sic tinggi yang terikat karbida silikon (sic), yang memberikan gabungan unik kekuatan, kestabilan terma, dan rintangan kimia yang tinggi yang dituntut dalam proses semikonduktor, fotovoltaik, dan maju. Bot wafer juga bertindak sebagai struktur tegar untuk memegang wafer dalam kedudukan, kestabilan dimensi dan ketepatan wafer tidak akan hilang dengan pendedahan yang dilanjutkan kepada suhu proses yang melampau.

Ciri -ciri unggul karbida silikon memberikan ruang relau ruang mendatar SIC Boats kelebihan prestasi yang lebih baik berbanding dengan bahan biasa untuk bot wafer seperti kuarza atau alumina. Mereka lebih baik menahan pemanasan jangka pendek dan kitaran penyejukan yang jarang berlaku kerana titik lebur yang tinggi, rintangan kejutan terma, dan kekuatan mekanikal, tanpa mengira kelajuan pemanasan dan penyejukan atau ekstrem kitaran terma. Oleh kerana relau mendatar bergantung sepenuhnya kepada konsistensi kedudukan wafer dan pendedahan keadaan proses, penjajaran yang betul wafer menyediakan hasil proses yang konsisten dan kebolehulangan. Koefisien pengembangan haba yang rendah bermakna bot tidak akan mengganggu hidupnya dan memberikan bentuk dan jarak yang tersimpan dari wafer.

Struktur SIC yang halus dan padat yang rekrited memberikan ketahanan yang luar biasa kepada pengoksidaan, kakisan, dan pencemaran oleh proses proses dan produk sampingan. Ini menjadikan bot ini sangat berfaedah untuk proses dalam atmosfera yang agresif seperti penyebaran, pengoksidaan, LPCVD, dan penyepuhlindapan. Kekurangan kimia yang tinggi SIC mengelakkan reaksi dengan permukaan wafer, dengan itu mengekalkan kesucian produk dan meminimumkan penjanaan partikulat dalam relau. Bot SIC boleh membantu pengeluar yang perlu memenuhi tuntutan kebersihan yang ketat, menyediakan persekitaran pemprosesan yang bersih dan kualiti wafer yang lebih baik.

Bot ini boleh dihasilkan dengan pelbagai geometri kompleks dan dimensi khusus dengan pemesinan ketepatan dan teknik pembentukan. Reka bentuk umumnya menggunakan pelbagai slot/alur selari untuk memegang wafer dengan selamat dalam orientasi mendatar dan secara seragam mendedahkan seluruh permukaan wafer ke keadaan terma. Jarak dan sudut slot-ke-slot juga boleh dioptimumkan agar sesuai dengan wafer diameter lain, seperti 150 mm, 200 mm, atau 300 mm, dan aliran udara langsung semasa kesan pemprosesan sementara masih mencapai keseragaman suhu untuk diproses.

Bukan sahaja kapal-kapal SIC yang mendatar tidak boleh direka bentuk dalam pelepasan standard, tetapi mereka boleh direka untuk bekerja dengan pemuat wafer automatik, menghasilkan integrasi yang lancar ke dalam barisan pengeluaran tinggi moden. Reka bentuk yang mantap juga akan menjadikan bot -bot kurang berkemungkinan cip atau pecah semasa pengendalian dan mengurangkan downtime dan kos untuk penggantian.

Kekonduksian terma dariSilicon Carbidemewakili satu lagi kelebihan utama yang memudahkan pemindahan haba yang cekap antara wafer dan persekitaran relau. Kelebihannya ialah pengeluar dapat mencapai keadaan pemprosesan yang lebih seragam dan memendekkan masa kitaran, yang dapat meningkatkan kecekapan pengeluaran. Bot SIC memberikan hasil yang konsisten dan berulang sama ada ia digunakan untuk fabrikasi wafer semikonduktor, pembuatan sel solar, atau pemprosesan bahan canggih lain pada suhu tinggi.

Ringkasnya, kapal-kapal SIC relau ruang mendatar adalah komponen utama bagi pengeluar yang ingin menghasilkan wafer dengan pembawa wafer yang berprestasi tinggi, tahan lama dan pencemaran. Ia mempunyai kekuatan mekanikal, kestabilan haba dan inertness kimia yang tidak dapat dilihat dalam aplikasi relau mendatar. Dengan memilih bot karbida silikon, pengendali dapat memanfaatkan kawalan proses yang lebih baik, hasil yang lebih tinggi, dan meminimumkan gangguan operasi akibat penyelenggaraan. Secara keseluruhan ia menyediakan produksi yang lebih cekap dan berkesan.