Bot Silikon Karbida Mendatar

Semicorex mendatarbot silikon karbidadibentuk secara bersepadu menggunakan teknologi percetakan 3D dan kemudian dibuat melalui pensinteran suhu tinggi. Dibina dengan tujuan agar sesuai dengan saiz relau mendatar suhu tinggi yang pelbagai, komponen ini digunakan secara meluas untuk mengekalkan pengekalan wafer dengan kukuh dalam proses pembuatan semikonduktor suhu tinggi kritikal, termasuk resapan, pengoksidaan dan pemendapan wap kimia.

Sifat Fisikokimia Silikon Karbida

Kelebihan bot karbida silikon mendatar Semicorexs

1.Sokongan dan Kedudukan yang Stabil

Kekuatan dan kekerasan bahan yang tiada tandingan memberikan bot karbida silikon mendatar Semicorex kapasiti sokongan yang sangat baik, yang membolehkan mereka membawa berbilang wafer secara stabil secara serentak. Melalui pemesinan slot ketepatan, bot karbida silikon mendatar Semicorex boleh membetulkan dan memegang wafer semikonduktor dengan selamat. Struktur slot yang sama rata memastikan bahawa wafer mengekalkan kedudukan tetap sepanjang keseluruhan kitaran pemprosesan, dengan itu menjamin ketekalan dan ketepatan proses pembuatan semikonduktor.

2.Kesesuaian dengan keadaan Operasi yang Kompleks

Terima kasih kepada rintangan suhu tinggi dan rintangan kakisan yang unggul, bot karbida silikon mendatar Semicorex mampu menahan persekitaran operasi yang ketat, seperti atmosfera bersuhu tinggi oksigen, nitrogen atau hidrogen klorida kepekatan rendah. Ciri-ciri bahan yang luar biasa ini secara berkesan boleh menghalang kakisan dan kerosakan yang disebabkan oleh gas menghakis suhu tinggi, yang memanjangkan jangka hayat operasi bot dengan banyak.

3. Prestasi Kebersihan Luar Biasa

Berbeza daripada bot grafit bersalut silikon karbida konvensional, bot karbida silikon mendatar Semicorex dibuat daripada gred semikonduktor, ketulenan tinggisilikon karbida(99.999%) dengan kandungan kekotoran ultra-rendah. Pemilihan bahan premium ini menghapuskan risiko pencemaran keluar gas atau pengelupasan salutan, walaupun terdedah kepada suhu tinggi dan persekitaran menghakis yang keras. Selain itu, setiap bot silikon karbida kami tertakluk kepada proses pembersihan ultrasonik yang ketat sebelum pembungkusan vakum, yang menjamin pematuhan dengan piawaian kebersihan yang diperlukan oleh proses pembuatan semikonduktor termaju.