Elektrostatik chuck (ESC) telah menjadi sangat diperlukan dalam pembuatan semikonduktor dan pengeluaran paparan panel rata, menawarkan kaedah bebas kerosakan, sangat terkawal untuk memegang dan meletakkan wafer dan substrat halus semasa langkah pemprosesan kritikal. Artikel ini menyelidiki selok-bel......
Baca LagiPembangunan 3C-SiC, politaip silikon karbida yang ketara, mencerminkan kemajuan berterusan sains bahan semikonduktor. Pada tahun 1980-an, Nishino et al. pertama kali mencapai filem 3C-SiC setebal 4 μm pada substrat silikon menggunakan pemendapan wap kimia (CVD)[1], meletakkan asas untuk teknologi fi......
Baca LagiLapisan silikon karbida (SiC) yang tebal, ketulenan tinggi, biasanya melebihi 1mm, merupakan komponen kritikal dalam pelbagai aplikasi bernilai tinggi, termasuk fabrikasi semikonduktor dan teknologi aeroangkasa. Artikel ini menyelidiki proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) untuk menghasilkan lapisan sed......
Baca LagiSilikon kristal tunggal dan silikon polihabluran masing-masing mempunyai kelebihan unik dan senario yang boleh digunakan. Silikon kristal tunggal sesuai untuk produk elektronik berprestasi tinggi dan mikroelektronik kerana sifat elektrik dan mekanikalnya yang sangat baik. Silikon polihabluran pula m......
Baca Lagi