Pembuatan semikonduktor, asas kemajuan teknologi moden, sentiasa mengejar litar bersepadu yang lebih kecil, lebih pantas dan lebih cekap. Pengejaran tanpa henti ini mendorong keperluan untuk proses pembuatan yang semakin tepat dan canggih, di mana setiap langkah sangat bergantung pada peralatan berp......
Baca LagiElektrostatik chuck (ESC) telah menjadi sangat diperlukan dalam pembuatan semikonduktor dan pengeluaran paparan panel rata, menawarkan kaedah bebas kerosakan, sangat terkawal untuk memegang dan meletakkan wafer dan substrat halus semasa langkah pemprosesan kritikal. Artikel ini menyelidiki selok-bel......
Baca LagiPembangunan 3C-SiC, politaip silikon karbida yang ketara, mencerminkan kemajuan berterusan sains bahan semikonduktor. Pada tahun 1980-an, Nishino et al. pertama kali mencapai filem 3C-SiC setebal 4 μm pada substrat silikon menggunakan pemendapan wap kimia (CVD)[1], meletakkan asas untuk teknologi fi......
Baca Lagi