In semiconductor fabrication, etching is one of the major steps, along with photolithography and thin-film deposition. It involves removing unwanted materials from the surface of a wafer using chemical or physical methods. This step is carried out after coating, photolithography, and developing. It ......
Baca LagiSubstrat SiC boleh mempunyai kecacatan mikroskopik, seperti Dislokasi Skru Benang (TSD), Dislokasi Tepi Benang (TED), Dislokasi Satah Asas (BPD) dan lain-lain. Kecacatan ini disebabkan oleh penyelewengan dalam susunan atom pada peringkat atom. Hablur SiC juga mungkin mempunyai kehelan makroskopik, s......
Baca LagiMenurut hasil penyelidikan, salutan TaC boleh bertindak sebagai lapisan perlindungan dan pengasingan untuk memanjangkan hayat komponen grafit, meningkatkan keseragaman suhu jejari, mengekalkan stoikiometri sublimasi SiC, menyekat penghijrahan kekotoran dan mengurangkan penggunaan tenaga. Akhirnya se......
Baca Lagi