Pengesan Akhir Robot

Semicorex ialah pengeluar milik bebas terkemuka bagi Silicon Carbide Coated Graphite, Precision Machined High Purity Graphite yang memfokuskan pada Silicon Carbide Coated Graphite, Silicon Carbide Ceramic, MOCVP bidang pembuatan semikonduktor. Robot End Effector kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Robot End Effector ialah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antara kedudukan dalam peralatan pemprosesan wafer dan pembawa. Robot End Effector mestilah tepat dari segi dimensi dan stabil dari segi haba, sambil mempunyai permukaan yang licin, tahan lelasan untuk mengendalikan wafer dengan selamat tanpa merosakkan peranti atau menghasilkan pencemaran zarah. Robot End Effector salutan silikon karbida (SiC) ketulenan tinggi kami memberikan rintangan haba yang unggul, malah keseragaman terma untuk ketebalan dan rintangan lapisan epi yang konsisten, dan rintangan kimia yang tahan lama.

Parameter Pengesan Akhir Robot

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	Fasa FCC Î²
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz bijirin	Î¼m	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300â)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300