Rumah > Produk > Seramik > Silikon Karbida (SiC) > Pengesan Akhir Robot
Pengesan Akhir Robot

Pengesan Akhir Robot

Semicorex ialah pengeluar terkemuka bebas Silicon Carbide Coated Graphite, Precision Machined High Purity Graphite yang memfokuskan pada Silicon Carbide Coated Graphite, Silicon Carbide Ceramic, MOCVP bidang pembuatan semikonduktor. Pengesan Akhir Robot kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Robot End Effector ialah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antara kedudukan dalam peralatan pemprosesan wafer dan pembawa. Robot End Effector mestilah tepat dari segi dimensi dan stabil dari segi haba, sambil mempunyai permukaan yang licin dan tahan lelasan untuk mengendalikan wafer dengan selamat tanpa merosakkan peranti atau menghasilkan pencemaran zarah. Robot End Effector salutan silikon karbida (SiC) ketulenan tinggi kami memberikan rintangan haba yang unggul, malah keseragaman terma untuk ketebalan dan rintangan lapisan epi yang konsisten, dan rintangan kimia yang tahan lama.


Parameter Pengesan Akhir Robot

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC

Sifat SiC-CVD

Struktur Kristal

fasa FCC β

Ketumpatan

g/cm ³

3.21

Kekerasan

Kekerasan Vickers

2500

Saiz Bijirin

μm

2~10

Ketulenan Kimia

%

99.99995

Kapasiti Haba

J kg-1 K-1

640

Suhu Sublimasi

2700

Kekuatan Feleksural

MPa (RT 4 mata)

415

Modulus Muda

Gpa (4pt selekoh, 1300℃)

430

Pengembangan Terma (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Kekonduksian terma

(W/mK)

300


Ciri-ciri Robot End Effector

Grafit bersalut SiC ketulenan tinggi

Rintangan haba yang unggul & keseragaman haba

Disalut kristal SiC halus untuk permukaan licin

Ketahanan tinggi terhadap pembersihan kimia

Bahan direka supaya keretakan dan delaminasi tidak berlaku.




Teg Panas: Pengesan Akhir Robot, China, Pengilang, Pembekal, Kilang, Disesuaikan, Pukal, Lanjutan, Tahan Lama
Kategori Berkaitan
Hantar Pertanyaan
Sila berasa bebas untuk memberikan pertanyaan anda dalam borang di bawah. Kami akan membalas anda dalam masa 24 jam.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept