Chuck Wafer Semikonduktor

Komponen Bersalut Silikon Karbida termaju semicorex ketulenan tinggi dibina untuk menahan persekitaran yang melampau dalam proses pengendalian wafer. Chuck Wafer Semikonduktor kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Semicorex ultra-rata Semikonduktor Wafer Chuck adalah bersalut SiC ketulenan tinggi yang digunakan dalam proses pengendalian wafer. Chuck Wafer Semikonduktor oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan kompaun mempunyai rintangan haba dan kakisan yang tinggi, yang mempunyai kestabilan yang hebat dalam persekitaran yang melampau, dan meningkatkan pengurusan hasil untuk pemprosesan wafer semikonduktor. Konfigurasi sentuhan permukaan rendah meminimumkan risiko zarah bahagian belakang untuk aplikasi sensitif.

Parameter Chuck Wafer Semikonduktor

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	fasa FCC β
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz Bijirin	μm	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300℃)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300