Bot SiC untuk Pengendalian Wafer

Dihasilkan daripada karbida silikon dengan ketulenan yang luar biasa, Bot SiC Semicorex untuk Pengendalian Wafer menawarkan pembinaan yang merangkumi slot ketepatan untuk mengamankan wafer, mengurangkan sebarang pergerakan semasa prosedur operasi. Pemilihan silikon karbida sebagai bahan memastikan bukan sahaja kekerasan dan daya tahan tetapi juga keupayaan untuk menahan suhu tinggi dan pendedahan kepada bahan kimia. Ini menjadikan SiC Boat for Wafer Handling komponen penting dalam pelbagai peringkat pengeluaran semikonduktor, seperti penanaman kristal, resapan, implantasi ion dan proses goresan.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Dibezakan dengan nisbah kekuatan kepada berat yang tiada tandingannya dan sifat konduktif terma yang unggul, Bot SiC Semicorex untuk Pengendalian Wafer menjalani proses peningkatan selanjutnya melalui salutan SiC CVD. Lapisan salutan tambahan ini menguatkan daya tahannya terhadap kesukaran persekitaran pemprosesan dan melindunginya daripada kedua-dua kemerosotan kimia dan turun naik haba, memanjangkan jangka hayat operasinya dengan ketara dan memastikan prestasi yang konsisten di bawah tuntutan operasi yang ketat.

Dalam operasi terma seperti penyepuhlindapan atau resapan, Bot SiC untuk Pengendalian Wafer adalah penting dalam mencapai taburan suhu yang sekata pada permukaan wafer. Kekonduksian terma yang sangat baik memudahkan penyebaran haba yang berkesan, mengurangkan ketaksamaan haba dan menggalakkan keseragaman dalam hasil proses.

Bot SiC Semicorex untuk Pengendalian Wafer dihormati kerana kebolehpercayaan dan prestasi cemerlangnya, memenuhi keperluan ketat pengeluaran semikonduktor kontemporari. Dengan kebolehsuaiannya untuk kedua-dua proses wafer kelompok dan individu, Bot SiC untuk Pengendalian Wafer berdiri sebagai alat penting untuk kemudahan pengeluaran semikonduktor yang didedikasikan untuk mencapai standard produk unggul dan hasil maksimum. Peranan Bot SiC untuk Pengendalian Wafer adalah penting dalam menegakkan kedua-duanya. integriti dan kebolehpercayaan wafer, mencari aplikasi meluas merentasi peralatan pengeluaran semikonduktor, peranti industri dan sebagai alat ganti.