Pemegang bot sic

Pemegang bot Sicorex SIC adalah peranti sokongan ketepatan yang direka untuk memegang bot wafer semasa proses suhu tinggi dalam fabrikasi semikonduktor. Diperbuat daripada karbida silikon kemelut tinggi (SIC), para pemegang ini mempamerkan kestabilan haba yang sangat baik, rintangan kimia, dan ketegaran mekanikal, ciri-ciri penting apabila digunakan dalam proses seperti penyebaran, pengoksidaan, dan pertumbuhan epitaxial.

Dalam menuntut persekitaran fabrikasi semikonduktor, melindungi integriti wafer dan meminimumkan pencemaran adalah penting. Pemegang bot SIC menawarkan platform yang kukuh dan lengai yang boleh bertolak ansur dengan persekitaran relau yang melampau sambil mengekalkan integriti tanpa ubah bentuk dan tanpa pelepasan bahan cemar. Kekurangan kimia mereka membolehkan penggunaannya dengan gas proses reaktif, sementara transmisi terma mereka menggalakkan pemanasan permukaan wafer untuk pemprosesan yang konsisten.

Setiap pemegang bot SIC dihasilkan dengan toleransi yang tinggi untuk ketepatan dimensi, menjadikannya mudah untuk menampung dan menyesuaikan diri dengan jenis bot wafer dan konfigurasi beban automatik. Struktur tegar mereka bukan sahaja mewujudkan sokongan yang kuat, stabil, dan mencukupi untuk bot wafer tetapi juga mengurangkan peluang getaran mikro atau pergeseran kedudukan yang boleh dilakukan pada wafer. Di samping itu, karbida silikon mempunyai rintangan haus yang sangat baik dan boleh mengendalikan berbasikal haba berulang untuk memberikan kehidupan yang panjang yang mengakibatkan sedikit downtime dan penggantian bahagian botol.

Atribut unik karbida silikon dapat memberikan manfaat tambahan berkaitan dengan proses kebersihan. Tidak seperti logam atau bahan seramik gred rendah, SIC tidak serpihan, keluar, atau merendahkan kimia di bawah suhu yang melampau atau plasma. Ini menjadikan pemegang bot SIC alat yang hebat untuk pengeluar yang cuba membatasi pencemaran bilik bersih untuk nod semikonduktor maju yang memerlukan hasil dan kesucian yang tinggi.

Pemegang bot Sicorex SIC dihasilkan menggunakan proses pencetakan dan sintering unik yang memastikan mikrostruktur seragam dan prestasi mekanikal antara kelompok dan di seluruh pemegang bot. Sebagai contoh, bentuk pemegang atau konfigurasi slot boleh disesuaikan, serta jenis pemasangan.

Sama ada digunakan dalam relau menegak atau reaktor mendatar, menyesuaikan pemegang bot semikorex SIC akan memenuhi toleransi untuk pembuatan semikonduktor generasi akan datang. Jika anda memilih produk Semicorex, anda akan tahu anda bekerja dengan pembekal yang berpengetahuan, didedikasikan untuk kecemerlangan material, dan berusaha untuk terus berinovasi komponen seramik berkenaan dengan kebolehpercayaan dan penghantaran.