Bot SiC

Bot SiC Semicorex direka dengan teliti daripada seramik SiC ketulenan tinggi, bahan yang terkenal kerana kestabilan terma yang tiada tandingannya, kekuatan mekanikal yang luar biasa, dan sifat lengai kimia yang tidak berbelah bahagi. Kualiti ini menjadikannya pilihan yang sempurna untuk keadaan fabrikasi semikonduktor yang ketat.

Bot SiC mempunyai kekuatan dan ketahanan mekanikal yang tiada tandingannya, kerana kekerasan bahan dan ketahanan yang luar biasa untuk dipakai. Ini membolehkan mereka menahan sifat menuntut persekitaran pengeluaran semikonduktor berdaya tinggi tanpa tunduk kepada haus dan lusuh secara beransur-ansur. Tidak seperti bahan lain, SiC mengekalkan integriti strukturnya dari semasa ke semasa, dengan ketara mengurangkan keperluan untuk penggantian yang kerap dan meminimumkan masa henti dalam operasi pembuatan - akhirnya membawa kepada penjimatan kos yang besar untuk pengeluar semikonduktor.

Lengai kimia SiC mengukuhkan lagi kesesuaiannya untuk proses semikonduktor dengan menjadikannya sangat tahan terhadap serangan kimia daripada gas reaktif dan bahan yang biasa digunakan seperti klorin dan fluorin. Rintangan teguh ini memastikan bot SiC tidak mencemarkan wafer semasa pemprosesan, sekali gus mengekalkan ketulenan dan kualiti peranti semikonduktor yang dibuat. Untuk proses yang menuntut tahap rintangan kimia yang lebih tinggi, Bot SiC boleh disalut dengan lapisan tambahan SiC, memberikan penghalang tambahan terhadap serangan kimia dan meningkatkan kemasan permukaan bot untuk mengurangkan risiko pencemaran zarah.

Ketulenan tinggi seramik SiC yang digunakan dalam bot ini adalah kritikal, kerana pembuatan semikonduktor mewajibkan bahan dengan kekotoran yang minimum. Malah sejumlah kecil bahan cemar boleh menjejaskan sifat elektrik wafer dan mengakibatkan kecacatan pada peranti akhir. Bot SiC direka bentuk daripada seramik SiC ketulenan ultra tinggi untuk memastikan ia tidak memasukkan kekotoran ke dalam persekitaran proses, walaupun dalam suhu tinggi dan keadaan reaktif tipikal fabrikasi semikonduktor. Ketulenan ini mengukuhkan kebolehpercayaan Bot SiC untuk langkah proses kritikal.

Keserasian Bot SiC dengan pelbagai peralatan semikonduktor adalah penting. Fleksibiliti SiC membolehkan ia dimesin dengan tepat agar sesuai dengan dimensi dan konfigurasi khusus yang diperlukan oleh pelbagai jenis relau dan reaktor semikonduktor, menjadikannya sesuai untuk pelbagai aplikasi, daripada operasi penyelidikan dan pembangunan berskala kecil kepada barisan pengeluaran berskala besar. Selain itu, kekonduksian terma yang luar biasa dan sifat pelesapan haba bahan menyumbang kepada kawalan suhu yang lebih cekap semasa pemprosesan, meningkatkan lagi prestasi dan hasil peranti semikonduktor.