SiC Cantilever Paddle

Semicorex SiC (Silicon Carbide) Cantilever Paddle ialah komponen penting yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya dalam relau resapan atau LPCVD (Pemendapan Wap Kimia Bertekanan Rendah) semasa proses seperti resapan dan RTP (Pemprosesan Terma Pantas). Ia berfungsi untuk menyokong dan mengangkut wafer dalam tiub proses relau ini.

Semicorex SiC Cantilever Paddle terutamanya terdiri daripada Silicon Carbide, bahan yang teguh dan stabil dari segi haba yang terkenal dengan rintangan suhu tinggi dan sifat mekanikal yang sangat baik. SiC dipilih kerana keupayaannya untuk menahan keadaan keras yang dihadapi dalam persekitaran proses suhu tinggi relau semikonduktor. Reka bentuk SiC Cantilever Paddle membolehkan ia memanjang ke dalam tiub proses relau sambil berlabuh dengan kukuh pada satu hujung di luar tiub. Reka bentuk ini memastikan kestabilan dan sokongan untuk wafer yang sedang diproses sambil meminimumkan gangguan dengan persekitaran terma di dalam relau.

Paddle Cantilever SiC adalah untuk membawa wafer semikonduktor dengan selamat dalam tiub proses semasa pelbagai proses suhu tinggi seperti resapan dan RTP. Pembinaannya yang teguh memastikan ia dapat menahan suhu melampau dan persekitaran kimia yang dihadapi semasa proses ini tanpa degradasi atau kegagalan. SiC Cantilever Paddles direka bentuk agar serasi dengan pelbagai saiz dan bentuk wafer semikonduktor yang biasa digunakan dalam industri. Ia selalunya boleh disesuaikan untuk menampung konfigurasi relau tertentu dan keperluan proses.