Sic cantilever paddles

Semicorex sic cantilever paddles adalah komponen berprestasi tinggi yang direka tepat untuk pengendalian wafer dan pengangkutan wafer dalam peralatan pemprosesan termal semikonduktor (LPCVD, PECVD, pengoksidaan, dan relau penyebaran). Paddles cantilever ini menyediakan platform untuk wafer dan bentuk sokongan yang diperlukan yang memastikan pengangkutan stabil dan boleh dipercayai wafer rapuh melalui proses suhu tinggi yang keras (sering melebihi 1200 ° C). Paddles cantilever dihasilkan dari silikon silikon karbida (sic) yang tinggi yang menyediakan ketahanan mekanikal, kestabilan haba, dan sifat anti-korosif untuk persekitaran fabrikasi semikonduktor.

Silicon Carbide adalah bahan seramik super premium dengan kekonduksian terma yang sangat baik, pengembangan haba yang rendah, dan keupayaan untuk melaksanakan dengan pasti dalam persekitaran yang bermusuhan secara kimia. Karbida silikon dalam paddles cantilever dapat membantu mengurangkan perang termal

 dan pergerakan yang membuat wafer rata dan dalam kedudukan pemprosesan nominal mereka. Kestabilan terma wafer dalam konteks paddles cantilever adalah penting untuk meminimumkan isu -isu pencemaran zarah dan pergerakan mekanikal terutama ketika menghasilkan peranti nod lanjutan. Isu -isu ini boleh mengakibatkan kehilangan hasil atau kerja semula dan penggantian wafer.

Bentuk monolitik SIC cantilever paddles meningkatkan keteguhan mekanikal dan keseragaman haba sementara menghapuskan sendi dan titik lemah yang biasanya boleh wujud dalam komposit. Selain itu, kemasan permukaan paddles dikawal secara khusus, dan secara amnya digilap ke kualiti cermin yang hampir untuk meminimumkan penjanaan partikulat dan sangat mematuhi kelas yang bersih.

Dalam proses penyebaran dan pengoksidaan yang melibatkan oksigen, stim dan gas reaktif lain; Bahan konvensional boleh meleleh atau ubah bentuk dari masa ke masa. Hartanah inert kimia yang wujud SIC memastikan paddles tidak akan keluar, atau menghancurkan dan memperkenalkan pencemaran kepada proses disebabkan oleh penggunaan bahan yang tidak stabil, menyumbang kepada proses yang lebih stabil dan hasil yang boleh dipercayai.  Integriti struktur paddles cantilever SIC tetap stabil walaupun berbasikal pemanasan dan penyejukan yang cepat. Oleh itu, mereka menawarkan hayat perkhidmatan operasi yang panjang dengan penyelenggaraan yang sangat dikurangkan atau bahagian penggantian bahagian.

Di samping itu, jisim yang dikurangkan dan berat ringan paddles SIC membolehkan tindak balas terma yang lebih cepat; Oleh itu, membolehkan masa yang lebih cepat dan masa sejuk yang menyumbang kepada peningkatan produktiviti dan kecekapan tenaga, semua metrik utama dalam landskap kompetitif pembuatan semikonduktor.

Sic cantilever paddles boleh dibekalkan dalam pelbagai konfigurasi dan saiz, direka dan dihasilkan untuk menampung pelbagai reka bentuk relau dan saiz wafer antara 100 mm hingga 300 mm dan lebih besar. OEM dan penyepadu peralatan menghargai konsistensi dan kebolehpercayaan paddles SIC dari masa ke masa, untuk penyebaran dalam kedua-dua proses front-end dan back-end.

Semicorex menawarkan premium sic cantilever paddles dengan kawalan ketat pada kesucian bahan, mikrostruktur, dan toleransi dimensi. Keupayaan proses lanjutan kami, ditambah pula dengan pengetahuan kami tentang dinamik haba semikonduktor, membolehkan kami menghasilkan paddles dengan atribut ini yang memenuhi atau melebihi piawaian industri untuk kestabilan, kebersihan, dan ketahanan. Apabila ia perlu betul dan boleh dipercayai, Semicorex adalah tempat untuk pergi untuk komponen SIC yang berkualiti.