Sic Seramic Boats

Bot seramik Semicorex SIC adalah pembawa canggih yang direka khas untuk mengangkut, menyimpan dan memproses wafer semikonduktor dengan selamat dalam persekitaran yang paling mencabar dan terma. Industri semikonduktor telah mengadopsi piawaian prestasi baru dengan cepat yang memerlukan bot-bot seramik SIC untuk dipercayai, percaya, dan bebas pencemaran mencapai tuntutan yang tidak bertoleransi dan kritikal untuk proses fabrikasi wafer moden.

Kestabilan dan kekuatan terma yang kuat

Atribut yang menentukan bot seramik SIC adalah kestabilan terma yang sangat tinggi. Bot seramik SIC dapat menahan suhu melebihi 1600 ° C tanpa kehilangan bentuk atau struktur semasa proses berbasikal terma yang agresif. Oleh kerana pekali pengembangan haba ultra-rendah, bot seramik SIC kurang terdedah kepada penyelewengan dan retak, yang membolehkan toleransi yang ketat dan keselamatan wafer secara keseluruhan semasa pengendalian di bawah keadaan sengit.

Kesucian tinggi dan rintangan kimia

Perahu seramik sic dibuat daripada karbida silikon kesucian ultra tinggi. Bot seramik SIC juga sangat tahan terhadap kemusnahan kimia, menghakis, dan mengikis plasma. Sifat lengai bot seramik SIC bermaksud proses gas menghakis, persekitaran reaktif, keadaan berasid akan membentuk sama ada pencemaran dari bot atau tidak larut untuk membahayakan proses kerja. Permukaan tidak tercemar bot seramik SIC membolehkan tiada penjanaan zarah atau larutan ion sehingga permukaan wafer tidak terjejas oleh kekotoran yang menghalang prestasi atau hasil peranti.

Kejuruteraan Ketepatan untuk pengendalian wafer yang selamat dan selamat

Bot seramik sic dihasilkan dalam toleransi yang ketat, membolehkan mereka mengendalikan wafer pelbagai diameter, termasuk 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm, dan banyak lagi. Reka bentuk struktur bot SIC memberikan kebosanan, paralelisme, dan saiz slot seragam yang sangat baik untuk mengekalkan orientasi yang betul dan melindungi tepi wafer ketika memindahkan ke proses atau alat lain. Semua bot SIC boleh direka dengan dimensi tersuai untuk memadankan set alat atau memenuhi spesifikasi automasi.

Jangka hayat yang panjang dan lebih cekap kos

SIC menggantikan bahan tradisional (kuarza, alumina) dengan kekuatan mekanikal yang lebih baik, ketangguhan patah dan rintangan kejutan haba. Tahap ketahanan ini diterjemahkan ke seumur hidup yang lebih lama sebelum "kegagalan," penggantian yang jauh lebih sedikit semasa operasi, dan jumlah kos pemilikan yang lebih rendah. Konsistensi dalam prestasi dari ketahanan SIC akan mengurangkan masa dan mempercepatkan throughput pada garisan pembuatan semikonduktor.

Buka aplikasi dalam proses semikonduktor

Bot seramik sic digunakan secara meluas dalam proses semikonduktor depan seperti:

LPCVD dan PECVD pemendapan

Pengoksidaan terma

Implantasi ion

Penyepuh dan penyebaran

Pembersihan wafer dan pemprosesan kimia

Pemegang seramik SIC mempunyai aplikasi pemprosesan yang serasi di kedua -dua atmosfera dan ruang proses vakum, menjadikannya pilihan yang ideal untuk foundries dan fabs yang ingin meminimumkan dan mengurangkan risiko pencemaran semasa meningkatkan produktiviti.