SiC Ceramic Cantilever Paddle

Daya pemuatan wafer besar silikon karbida SiC seramik cantilever dayung sesuai untuk sistem pemuatan dan pengendalian automatik robot kerana ia mempunyai prestasi yang stabil, tidak ubah bentuk dalam suhu tinggi dan daya pemuatan wafer yang besar. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Memandangkan bahagian dayung julur adalah stabil tanpa ubah bentuk, adalah mungkin untuk membuat wafer saiz yang lebih besar menggunakan tiub relau sedia ada. Dayung julur seramik SiC boleh digunakan pada LPCVD berdasarkan pekali pengembangan haba yang serupa dengan salutan LPCVD, yang memanjangkan kitaran penyelenggaraan dan pembersihan dengan ketara, serta mengurangkan bahan pencemar dengan ketara.

Kami boleh menghasilkan produk mengikut lukisan anda dan persekitaran kerja.

ciri-ciri:

Beban besar

Kekonduksian haba yang rendah

Rintangan suhu tinggi