Cincin Fokus SiC

Cincin Fokus SiC termaju semicorex, ketulenan tinggi dibina untuk menahan persekitaran yang melampau dalam ruang goresan plasma (atau goresan kering). Kami memberi tumpuan kepada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Produk kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Semicorex membekalkan SiC Focus Rings benar-benar stabil untuk RTA, RTP atau pembersihan kimia yang keras. Cincin Fokus SiC atau cincin tepi direka bentuk untuk meningkatkan keseragaman goresan di sekeliling tepi wafer atau perimeter. Minimumkan pencemaran dan penyelenggaraan tidak berjadual dengan komponen ketulenan tinggi yang direka bentuk untuk ketelitian pemprosesan etsa plasma. Cincin Fokus SiC kami dengan Salutan SiC ialah salutan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan haus. Ia mempunyai sifat rintangan kakisan dan haba yang tinggi serta kekonduksian terma yang sangat baik. Kami menggunakan SiC dalam lapisan nipis pada grafit menggunakan proses pemendapan wap kimia (CVD).

Parameter Cincin Fokus SiC

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	fasa FCC β
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz Bijirin	μm	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300℃)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300

Ciri-ciri Cincin Fokus SiC

- Salutan Silicon Carbide CVD untuk meningkatkan hayat perkhidmatan.

- Penebat haba diperbuat daripada karbon tegar tulen berprestasi tinggi.

- Pemanas dan plat komposit karbon/karbon. - Kedua-dua substrat grafit dan lapisan silikon karbida mempunyai kekonduksian terma yang tinggi, dan sifat pengagihan haba yang sangat baik.

- Grafit ketulenan tinggi dan salutan SiC untuk rintangan lubang jarum dan jangka hayat yang lebih tinggi