Tiub pengoksidaan sic

Tiub pengoksidaan Semicorex SIC dibina dari seramik karbida silikon kemelut yang direka untuk pengoksidaan, penyebaran, atau proses penyepuhlindapan yang biasanya dilakukan pada 1600 ° C. Sebagai sebahagian daripada relau SIC, mendatar atau menegak, ini adalah persekitaran yang terkawal yang dibersihkan oleh wafer semasa pengoksidaan. Fungsi tiub pengoksidaan adalah untuk menyediakan persekitaran yang bersih, seragam dan stabil untuk rawatan haba silikon karbida (sic) wafer dalam fabrikasi peranti kuasa dan semikonduktor bandgap yang luas, sebagai aperture proses pengoksidaan potensial yang berterusan, tiub pengoksidaan bertindak sebagai sasaran yang boleh dimakan untuk penggunaan pertama. Walaupun tiub kuarza dan alumina sering dijumpai memecah dari masa ke masa melalui penyembuhan, warping, atau kerosakan kimia, karbida silikon mempunyai ketahanan yang luar biasa terhadap cabaran kejutan haba, peningkatan harta mekanikal, dan keterangkuman kimia. Faktor -faktor ini menghasilkan karbida silikon sebagai pilihan yang baik untuk tiub pengoksidaan dalam kebolehpercayaan yang tinggi, persekitaran throughput yang tinggi.

Menggunakan bentuk pembentukan lanjutan seperti penekanan isostatik sejuk dan sintering tanpa tekanan (atau penghabluran semula), Semicorex menghasilkan tiub pengoksidaan SIC yang mempunyai mikrostruktur yang padat, ketat, dan homogen. Ini memberikan kekuatan tanpa risiko keliangan, yang membolehkan proses pengoksidaan diteruskan tanpa pencemaran. SIC mempunyai kekonduksian terma yang sangat tinggi, yang membolehkan pengedaran haba seragam ke zon beban wafer dan dengan itu mengurangkan kecerunan haba yang boleh menyebabkan wafer atau kecacatan yang melengkung. Rintangan tiub terhadap asid, pangkalan, dan gas reaktif menghalang interaksi kimia yang tidak diingini dengan permukaan wafer dan melalui persekitaran relau juga.

Ia tidak merayap, ia tidak cacat. Tiub tidak perlu diganti selepas beberapa kitaran pengeluaran-ia adalah persekitaran berbasikal terma jangka panjang yang akan memusnahkan bahan yang lebih rendah. Oleh itu, tiada gangguan frekuensi tinggi bermakna kos operasi yang rendah, dan ini mengekalkan aliran proses tanpa sebarang gangguan. Ini juga mengurangkan risiko pencemaran yang mudah mengurangkan prestasi hasil dalam peranti semikonduktor generasi akan datang di mana kekotoran jejak memainkan peranan penting. Semicorex menghasilkan kedua -dua dimensi tiub standard dan sepenuhnya disesuaikan untuk mana -mana platform relau dan resipi yang digunakan. Diameter dalaman dan luaran, panjang, ketebalan dinding, dan kemasan permukaan adalah semua parameter yang mungkin memerlukan pelarasan untuk menangani keperluan terma dan mekanikal tertentu yang berbeza; Dari tungku R & D skala makmal sehingga ke garisan pembuatan besar-dalam setiap kes di mana tiub memerlukan pemesinan, pembersihan, dan pemeriksaan untuk menjamin prestasi.

Kawalan kualiti bermula dengan pemeriksaan dimensi, ujian ketumpatan bahan, dan pengesahan kebolehpercayaan kitaran haba untuk setiap tiub pengoksidaan SIC tunggal. Sistem kebolehpercayaan bahan yang kuat melog masuk produk dari tahap serbuk mentah sehingga pemeriksaan akhir. Kualiti semacam itu memberi pelanggan tangan yang mantap dalam kestabilan jangka panjang dan kebolehulangan tiub pengoksidaan SIC kami.

Pilih Semicorex, dan dapatkan rakan kongsi dalam pembekal yang menggabungkan kejuruteraan seramik maju dengan kawalan proses yang luas dan sokongan teknikal yang responsif dengan bekerja bersama dari awal lagi. Kami belajar tentang persekitaran relau tertentu, keperluan proses, dan cabaran integrasi supaya kami dapat menawarkan penyelesaian yang disesuaikan untuk meningkatkan hasil proses anda serta alat uptime.

Tiub pengoksidaan Semicorex SIC memberikan prestasi terma yang terbaik dengan kestabilan kimia dan kekuatan mekanikal. Ia menjadi pusat sistem pemprosesan SIC suhu tinggi dengan menyediakan persekitaran haba seragam semasa pengoksidaan dan penyepuh bahan semikonduktor maju. Bagi pengeluar yang memerlukan komponen relau menjadi dipercayai, bersih, dan tahan lama, Semicorex akan menjadi pilihan produk yang disokong oleh pengetahuan dan pengalaman serta standard yang tidak memberikan apa-apa kekurangan yang terbaik.