SiC Vacuum Chuck

Semicorex SiC Vacuum Chuck ialah alat yang direka khas yang memegang wafer semikonduktor dengan selamat semasa peringkat pemprosesan kritikal dengan kestabilan dan kebolehpercayaan yang terbaik. Salutan CVD SiC chuck Vacuum SiC memberikan kekuatan mekanikal yang luar biasa, rintangan kimia dan kestabilan haba, memastikan wafer halus dilindungi daripada sebarang kemungkinan kerosakan atau pencemaran.

Kombinasi unik grafit dan salutan SiC SiC Vacuum Chuck menawarkan kekonduksian terma yang tinggi dan pekali pengembangan terma yang minimum. Ini membolehkan pelesapan haba yang cekap dan pengagihan suhu seragam merentasi permukaan wafer. Ciri-ciri ini penting untuk mengekalkan keadaan pemprosesan yang optimum dan meningkatkan hasil dalam proses fabrikasi semikonduktor.

SiC Vacuum chuck juga serasi dengan persekitaran vakum, memastikan lekatan yang unggul antara chuck dan wafer. Ini menghapuskan risiko gelinciran atau salah jajaran semasa operasi berketepatan tinggi. Permukaan tidak berliang dan sifat lengainya seterusnya menghalang sebarang gas keluar atau pencemaran zarah, menjaga ketulenan dan integriti persekitaran pembuatan semikonduktor.

Semicorex SiC Vacuum Chuck ialah teknologi asas dalam pembuatan semikonduktor, menawarkan prestasi dan ketahanan yang tiada tandingan untuk memenuhi permintaan industri yang semakin berkembang. Sama ada digunakan dalam litografi, etsa, pemendapan atau proses kritikal lain, penyelesaian termaju ini terus mentakrifkan semula piawaian kecemerlangan dalam pengendalian dan pemprosesan wafer semikonduktor.