Silicon Carbide Boats

Kapal karbida silikon Semicorex menunjukkan kestabilan terma yang luar biasa, membolehkan mereka menahan suhu melampau yang diperlukan untuk proses pengoksidaan dan penyebaran. Rintangan kejutan terma yang sangat baik mereka meminimumkan risiko retak atau ubah bentuk, memastikan umur panjang operasi yang berpanjangan. Komposisi SIC berkepadatan tinggi memberikan kekuatan mekanikal yang unggul, mengekalkan integriti struktur walaupun di bawah berbasikal terma berterusan. Rintangan yang luar biasa terhadap tekanan mekanikal mengurangkan kemungkinan pencemaran wafer dan pecahnya, menyumbang kepada hasil proses yang lebih tinggi. Tambahan pula, bot SIC mempunyai rintangan kimia yang luar biasa, yang masih tidak aktif kepada gas proses yang agresif yang digunakan dalam langkah -langkah pengoksidaan dan penyebaran. Ciri -ciri ini menghalang tindak balas yang tidak diingini yang boleh menjejaskan kesucian wafer dan kecekapan pengeluaran.

Perahu karbida silikon terutamanya digunakan dalam pengoksidaan dan relau penyebaran, di mana kawalan tepat terhadap pendedahan wafer kepada suhu tinggi dan gas reaktif adalah penting. Mereka menyokong wafer semasa pengoksidaan haba untuk menanam lapisan silikon dioksida berkualiti tinggi dan memudahkan doping seragam melalui pendedahan terkawal kepada gas dopan. Di samping itu, mereka menyediakan platform yang stabil untuk penyepuhlindapan dan rawatan suhu tinggi lain yang memerlukan pendedahan haba yang berpanjangan.

Berbanding dengan bot kuarza tradisional dan grafit, bot karbida silikon menawarkan ketahanan, panjang umur, dan prestasi yang tidak dapat ditandingi. Keupayaan mereka untuk menahan persekitaran terma dan kimia yang keras sambil meminimumkan pencemaran menjadikan mereka pilihan pilihan untuk pembuatan semikonduktor ketepatan tinggi. Dengan fokus pada kualiti dan inovasi, bot karbida silikon kami memberikan prestasi unggul, memastikan hasil yang tinggi dan pemprosesan wafer yang cekap untuk pengeluar semikonduktor di seluruh dunia. Sama ada untuk teknologi nod lanjutan atau fabrikasi semikonduktor warisan, bot -bot ini menyediakan penyelesaian yang boleh dipercayai untuk memenuhi keperluan industri yang ketat.

(1) Pembawa dan Perlindungan: Perahu karbida silikon membawa bahan semikonduktor seperti wafer melalui kurungan atau slot dalamannya, dan menggunakan suhu tinggi dan rintangan kakisan bahan karbida silikon untuk melindungi wafer dari persekitaran luaran.

(2) Pemanasan seragam: Bot karbida silikon membolehkan wafer di dalamnya dipanaskan secara merata semasa proses rawatan haba. Ini membantu memastikan kadar suhu dan tindak balas setiap bahagian wafer kekal konsisten semasa proses rawatan haba, dengan itu meningkatkan hasil dan kualiti wafer.

Pada masa ini terdapat tiga jenis utamaSilicon Carbide CeramicBahan: Sintering reaksi, sintering tanpa tekanan, dan sintering recrystallization. Dalam kebanyakan aplikasi, reaksi silikon silikon karbida adalah produk yang lebih sesuai dan kos efektif. Bot SIC yang direkristalisasi biasanya sinter dan memproses beberapa bahagian unit terlebih dahulu, kemudian gunakan tampal Si untuk menggabungkan bahagian-bahagian ke dalam bot pada suhu tinggi, dan akhirnya memohon salutan CVD-SIC (kira-kira 100um). Oleh kerana penghabluran semula berliang, jika tidak ada salutan SIC, ia juga akan memperkenalkan parti ke dalam proses semikonduktor. Ini jenis bot SIC yang direkristalisasi dengan salutan CVD-SIC mempunyai proses pembuatan terpanjang dan sangat mahal. Berbanding dengan bot grafit bersalut SIC, bot SIC yang disalut bersalut CVD-SIC tidak mempunyai masalah ketidakcocokan CTE.