Pendayung Cantilever Silicon Carbide

Dayung julur silikon karbida semicorex biasanya digunakan dengan bot wafer mendatar dalam relau pemprosesan suhu tinggi. Mereka boleh memastikan pemindahan bot wafer yang tepat dan lancar ke dalam dan keluar dari tiub relau, memberikan sokongan yang kuat untuk kestabilan dan hasil pembuatan semikonduktor. Direka khusus untuk rawatan wafer suhu tinggi, dayung julur silikon karbida Semicorex berprestasi stabil pada sekitar 1250°C di bawah suasana kerja keras yang terdiri daripada oksigen (gas tindak balas), nitrogen (gas pelindung) dan sejumlah kecil hidrogen klorida.

Pemilihan bahan standard tinggi

Produk premium bergantung pada bahan mentah yang halus. Semicorex menggunakan bahan mentah silikon karbida ketulenan tinggi untuk memastikan dayung julur silikon karbida kami adalah berkualiti tinggi di seluruh industri. Tapaknya diperbuat daripada karbida silikon terikat tindak balas berkualiti tinggi dengan kandungan kekotoran dikawal di bawah 100 ppm dan permukaannya ditutup dengan salutan SiC CVD di mana kekotoran disimpan di bawah 1 ppm. Bahan berstandard tinggi ini membuat dayung julur silikon karbida Semicorex memberikan ciri-ciri cemerlang yang disenaraikan seperti di bawah.

1. Kebersihan sangat tinggi:Semicorexsilikon karbidadayung julur menampilkan ketulenan yang tinggi dan tidak akan melepaskan kekotoran yang tidak diingini semasa operasi, secara asasnya menghapuskan pencemaran pada wafer dan relau pemprosesan.

2. Kestabilan terma yang stabil:Dayung julur silikon karbida semicorex beroperasi dengan pasti pada 1250°C dan menahan perubahan suhu yang mendadak apabila masuk dan keluar dari relau, bebas daripada sebarang ubah bentuk atau retak.

3. Kekuatan mekanikal yang unggul:Dayung julur silikon karbida semicorex mempunyai kekerasan dan kekuatan yang tinggi serta boleh menahan haus dan calar semasa operasi menolak dan menarik yang kerap.

4. Rintangan kakisan yang boleh dipercayai:Semicorexdayung julur silikon karbidaboleh menahan kakisan teruk oleh alkali dan asid yang kuat berkat kestabilan kimianya yang luar biasa.

Reka bentuk yang bertimbang rasa dan pemesinan ketepatan

Semicorexmenggunakan teknologi pencetakan 3D integral untuk membentuk dayung julur silikon karbida, yang membolehkannya bebas daripada titik tekanan lemah pada sambungan, memberikan kapasiti beban yang boleh dipercayai semasa operasi. Ia juga menyokong penyesuaian dimensi penuh bagi dayung julur silikon karbida. Pendayung julur boleh disesuaikan dengan tepat dalam panjang, struktur dan spesifikasi antara muka dan tersedia untuk memadankan dengan sempurna diameter tiub relau, dimensi bot wafer, sistem pemuatan automatik dan keperluan proses tertentu.