Pendayung Cantilever Seramik Silikon Karbida

Semicorexdayung julur seramik silikon karbidadihasilkan oleh pensinteran suhu tinggi badan hijau cetakan 3D satu langkah, diikuti dengan rawatan salutan melalui pemendapan wap kimia. Semasa operasi sebenar, dayung julur seramik silikon karbida digerakkan oleh sistem automasi mekanikal untuk memindahkan komponen pembawa wafer ke dalam dan keluar dari peralatan pemprosesan suhu tinggi dengan lancar dan berterusan (seperti relau pengoksidaan, relau resapan, relau CVD, dll.). Komponen silikon karbida ini secara berkesan boleh memastikan ketepatan ketumpuan antara wafer dan tiub relau, dengan itu menjamin keseragaman dan kestabilan proses semasa proses kritikal seperti resapan, pengoksidaan, dan pemendapan wap kimia.

Prestasi Pendayung Cantilever Seramik Semicorex Silicon Carbide

1. Prestasi pencemaran yang rendah:

Semicorexsilikon karbidadayung julur seramik, diproses dengan rawatan ketepatan tinggi, mencapai standard bebas habuk dan bebas zarah. Matriks mereka mempunyai kandungan kekotoran dikawal ketat di bawah 300PPM, dan kandungan kekotoran salutan silikon karbida CVD adalah lebih rendah daripada 5PPM.

2. Kestabilan suhu tinggi:

Disebabkan oleh rintangan suhu tinggi yang sangat baik dan rintangan kejutan haba silikon karbida, dayung julur seramik Semicorex silikon karbida boleh mengekalkan kestabilan strukturnya secara berpanjangan pada suhu tinggi sehingga 1250°C, tanpa berubah bentuk, melembutkan atau rosak disebabkan oleh suhu tinggi.

3. Kapasiti beban yang luar biasa:

Pendayung julur seramik silikon karbida semicorex memberikan kapasiti beban yang luar biasa yang mendapat manfaat daripada reka bentuk strukturnya yang unik dan sifat bahan unggulnya (kekuatan dan kekerasan mekanikal yang tinggi). Kapasiti beban yang luar biasa ini membolehkan mereka menahan berat kumpulan besar wafer untuk memenuhi keperluan pengeluaran besar-besaran, yang secara berkesan meningkatkan kecekapan pemprosesan kelompok wafer.

4. Rintangan kakisan yang luar biasa:

Dayung julur seramik silikon karbida semicorex mempamerkan ketahanan kakisan yang sangat baik terhadap oksigen, klorin dan bahan menghakis lain yang terdapat pada suhu tinggi dalam proses pembuatan semikonduktor dan fotovoltaik. Prestasi unggul ini adalah penting untuk memastikan kelancaran proses pengeluaran dengan mengelakkan kerugian dan masa yang disebabkan oleh kerosakan pada dayung julur seramik silikon karbida.

Kaedah Pembungkusan Semicorex Silicon Carbide Ceramic Cantilever Paddles