Seramik silikon karbidadayung biasanya dipasang berhampiran pembukaan relau atau ruang proses, dengan satu hujung tetap dan hujung satu lagi memanjang ke dalam relau atau ruang proses. Semasa pemprosesan operasi, dayung seramik silikon karbida meletakkan dengan tepat pembawa wafer yang membawa wafer di lokasi yang ditetapkan di dalam relau atau ruang proses. Selepas pemprosesan, dayung cantilevered mengambil pembawa dan mengalihkannya keluar dari relau atau ruang dan menyerahkannya kepada lengan robot untuk peringkat pengendalian seterusnya.

Kelebihan dayung seramik silikon karbida Semicorex

1. Ciri-ciri unggul dan kualiti yang boleh dipercayai

Dayung seramik silikon karbida semicorex memberikan kestabilan suhu tinggi yang sangat baik, kekuatan tinggi, kekerasan tinggi, kestabilan kimia dan pekali pengembangan haba yang rendah. Dengan sifat unggul ini, dayung seramik silikon karbida Semicorex boleh tahan lama dalam keadaan operasi yang mencabar, seperti suhu tinggi, kakisan teruk, beban berat dan operasi mekanikal yang kerap.

2. Menyokong dan mengangkut yang tepat

Bergantung pada prestasi sokongan dan pengangkutan yang sangat baik, Semicorexdayung seramik silikon karbidaboleh menetapkan pembawa wafer dengan tepat untuk memastikan ketumpuan wafer berbanding tiub relau, yang dengan ketara mengurangkan ketidakkonsistenan proses yang disebabkan oleh goncangan wafer dan salah jajaran semasa proses.

3. Operasi automatik yang sangat cekap

Dayung seramik silikon karbida semicorex biasanya berfungsi bersama-sama dengan sistem pemuatan dan pengendalian automatik robot untuk mencapai pemuatan dan pemunggahan wafer yang pantas. Ini memendekkan kitaran proses dengan ketara dalam pembuatan semikonduktor dan fotovoltaik, meningkatkan kecekapan pengeluaran, dan mengurangkan kos operasi manual dan risiko ralat.

Aplikasi dayung seramik silikon karbida Semicorex

1. Pengilangan sel fotovoltaik

Dayung seramik silikon karbida semicorex sangat sesuai dengan proses haba sel fotovoltaik, seperti resapan, LPCVD dan PECVD sel TOPCon dan PERC. Dengan mencapai keseragaman dan kestabilan proses, dayung ini menyumbang kepada peningkatan kecekapan penukaran sel fotovoltaik.

2. Pembuatan cip semikonduktor

Berdiri sebagai komponen sokongan dan pengangkutan yang penting, dayung seramik silikon karbida Semicorex digunakan secara meluas dalam proses seperti litografi, goresan dan pemendapan semasa pembuatan cip semikonduktor, membolehkan pemindahan yang sentiasa stabil dan kedudukan wafer yang tepat.