Bot Wafer Seramik Silikon Karbida

Semicorex menyediakan bot wafer, alas dan pembawa wafer tersuai untuk konfigurasi menegak / lajur dan mendatar. Kami telah menjadi pengilang dan pembekal filem salutan silikon karbida selama bertahun-tahun. Bot wafer seramik silikon karbida kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Bot wafer seramik silikon karbida semicorex, penyelesaian muktamad untuk pengendalian dan perlindungan wafer dalam pembuatan semikonduktor.
Bot wafer seramik silikon karbida kami diperbuat daripada bahan berkualiti tinggi yang disalut dengan lapisan kaedah CVD terpakai silikon karbida (SiC), yang mempunyai ketahanan yang baik terhadap kakisan dan rintangan yang sangat baik terhadap suhu tinggi dan kejutan haba. Seramik termaju memberikan rintangan haba dan ketahanan plasma yang sangat baik sambil mengurangkan zarah dan bahan cemar untuk pembawa wafer berkapasiti tinggi.

Parameter bot wafer seramik silikon karbida

Sifat Teknikal
Indeks	Unit	Nilai
Nama Bahan		Tindak balas Sintered Silicon Carbide	Silikon Karbida Tersinter Tanpa Tekanan	Karbida Silikon Terhablur Semula
Komposisi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Ketumpatan Pukal	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Kekuatan lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Kekuatan Mampatan	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Butang	2700	2800	/
Memecah Ketabahan	MPa m1/2	4.5	4	/
Kekonduksian Terma	W/m.k	95	120	23
Pekali Pengembangan Terma	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Haba Tertentu	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimum dalam udara	℃	1200	1500	1600
Modulus Elastik	Gpa	360	410	240

Perbezaan antara SSiC dan RBSiC:

1. Proses pensinteran adalah berbeza. RBSiC adalah untuk menyusup Si bebas ke dalam silikon karbida pada suhu rendah, SSiC dibentuk oleh pengecutan semula jadi pada 2100 darjah.

2. SSiC mempunyai permukaan yang lebih licin, ketumpatan yang lebih tinggi dan kekuatan yang lebih tinggi, untuk beberapa pengedap dengan keperluan permukaan yang lebih ketat, SSiC akan menjadi lebih baik.

3. Masa penggunaan yang berbeza di bawah PH dan suhu yang berbeza, SSiC lebih panjang daripada RBSiC

Ciri-ciri Bot Wafer Seramik Silikon Karbida

Rintangan haba yang unggul & keseragaman haba
Disalut kristal SiC halus untuk permukaan licin
Ketahanan tinggi terhadap pembersihan kimia
Bahan direka supaya keretakan dan delaminasi tidak berlaku.