Bot Wafer Seramik Silikon Karbida

Pemilihan material premium

Ciri-ciri cemerlang seramik silikon karbida Semicorexbot waferadalah disebabkan oleh bahan mentah yang berkualiti tinggi. Diperbuat daripada bahan SiSiC gred semikonduktor dan ditutup dengan salutan SiC CVD, bot wafer seramik silikon karbida mempamerkan sifat cemerlang berikut.

1. Ketulenan ultra tinggi, bebas daripada pelepasan kekotoran logam

Kekotoran substrat: <100 ppm

Kekotoran salutan CVD SiC: ＜1 ppm

2. Kestabilan haba yang unggul

Bot wafer seramik silikon karbida mampu menunjukkan prestasi yang stabil dalam keadaan suhu tinggi 1250℃, memberikan ubah bentuk yang minimum dan rintangan rayapan.

3. kekuatan mekanikal yang tinggi

Silikon karbidamempunyai kekerasan dan rintangan haus yang tinggi, membolehkan bot wafer seramik silikon karbida Semicorex menahan calar, melecet dan kerosakan, sekali gus berfungsi dengan baik semasa operasi jangka panjang dan tahan terhadap kerosakan.

4. rintangan kakisan yang luar biasa

Oleh kerana silikon karbida tahan terhadap kakisan daripada asid dan alkali kuat,  Bot wafer seramik silikon karbida Semicorex boleh mengekalkan integriti struktur dan prestasi fungsinya walaupun dalam keadaan kerja yang sangat menghakis.

Reka bentuk struktur yang dioptimumkan

Bot wafer seramik silikon karbida semicorex direka untuk pemprosesan wafer kelompok, rangka kerja struktur yang dioptimumkan memastikan sokongan wafer kelompok yang stabil dan kestabilan proses yang konsisten untuk setiap wafer.

1.3-post struktur sokongan menegak

Struktur menegak bot wafer seramik silikon karbida Semicorex membolehkannya memadankan aplikasi relau menegak dengan lancar. Dengan struktur ini, bot wafer seramik  emicorex silikon karbida boleh memudahkan peredaran homogen gas proses dan pengagihan seragam tenaga haba dalam relau suhu tinggi.

2. cubitan slot yang diedarkan secara seragam

Bot wafer seramik silikon karbida semicorex dilengkapi dengan beberapa picit slot mesin ketepatan pada tiang sokongannya. Cubitan slot jarak sekata mereka mencapai jarak slot yang sesuai, yang membolehkan bot wafer seramik silikon karbida mengamankan wafer semikonduktor dengan kukuh, dengan itu menyumbang kepada peningkatan konsistensi hasil pemprosesan terma wafer.

Dengan begitu banyak prestasi dan fungsi yang sangat baik, bot wafer seramik silikon karbida Semicorex digunakan secara meluas dalam proses teras pembuatan wafer semikonduktor, seperti pengoksidaan, resapan, implantasi ion, dan penyepuhlindapan suhu tinggi.