Salutan SiC ialah lapisan nipis pada susceptor melalui proses pemendapan wap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan beberapa kelebihan berbanding silikon, termasuk 10x kekuatan medan elektrik pecahan, 3x jurang jalur, yang menyediakan bahan dengan suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik serta kekonduksian terma.
Semicorex menyediakan perkhidmatan tersuai, membantu anda berinovasi dengan komponen yang tahan lebih lama, mengurangkan masa kitaran dan meningkatkan hasil.
Salutan SiC mempunyai beberapa kelebihan unik
Rintangan Suhu Tinggi: Susceptor bersalut CVD SiC boleh menahan suhu tinggi sehingga 1600°C tanpa mengalami degradasi haba yang ketara.
Rintangan Kimia: Salutan silikon karbida memberikan rintangan yang sangat baik terhadap pelbagai bahan kimia, termasuk asid, alkali dan pelarut organik.
Rintangan Haus: Salutan SiC menyediakan bahan dengan rintangan haus yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang melibatkan haus dan lusuh yang tinggi.
Kekonduksian Terma: Salutan SiC CVD menyediakan bahan dengan kekonduksian terma yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan pemindahan haba yang cekap.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Suseptor bersalut silikon karbida menyediakan bahan dengan kekuatan dan kekakuan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang memerlukan kekuatan mekanikal yang tinggi.
Salutan SiC digunakan dalam pelbagai aplikasi
Pengilangan LED: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam pembuatan diproses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan LED UV dalam, kerana kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan kimia.
Komunikasi mudah alih: Susceptor bersalut CVD SiC ialah bahagian penting HEMT untuk melengkapkan proses epitaxial GaN-on-SiC.
Pemprosesan Semikonduktor: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk pelbagai aplikasi, termasuk pemprosesan wafer dan pertumbuhan epitaxial.
Komponen grafit bersalut SiC
Diperbuat oleh grafit Salutan Silikon Karbida (SiC), salutan digunakan dengan kaedah CVD untuk gred tertentu grafit berketumpatan tinggi, supaya ia boleh beroperasi dalam relau suhu tinggi dengan lebih 3000 °C dalam suasana lengai, 2200°C dalam vakum .
Ciri khas dan jisim bahan yang rendah membolehkan kadar pemanasan yang cepat, pengagihan suhu seragam dan ketepatan yang luar biasa dalam kawalan.
Data bahan Salutan Semicorex SiC
Sifat tipikal |
Unit |
Nilai |
Struktur |
|
fasa FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 diutamakan |
Ketumpatan pukal |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasiti Haba |
J kg-1 K-1 |
640 |
Pengembangan terma 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt selekoh, 1300℃) |
430 |
Saiz Bijirin |
μm |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 mata) |
415 |
Kekonduksian terma |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Suseptor bersalut CVD SiC ialah bahan komposit yang menggabungkan sifat suseptor dan silikon karbida. Bahan ini mempunyai sifat unik, termasuk suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik, kekonduksian haba yang tinggi, dan kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Ciri-ciri ini menjadikannya bahan yang menarik untuk pelbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemprosesan semikonduktor, pemprosesan kimia, rawatan haba, pembuatan sel solar dan pembuatan LED.
Plat Pembawa Grafit RTP Semicorex ialah penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer semikonduktor, termasuk pertumbuhan epitaxial dan pemprosesan pengendalian wafer. Produk kami direka bentuk untuk menawarkan rintangan haba yang unggul dan keseragaman terma, memastikan suseptor epitaksi tertakluk kepada persekitaran pemendapan, dengan rintangan haba dan kakisan yang tinggi.
Baca LagiHantar PertanyaanPembawa Salutan Semicorex RTP SiC menawarkan rintangan haba yang unggul dan keseragaman terma, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer semikonduktor. Dengan grafit bersalut SiC berkualiti tinggi, produk ini direka bentuk untuk menahan persekitaran pemendapan paling keras untuk pertumbuhan epitaxial. Kekonduksian terma yang tinggi dan sifat pengedaran haba yang sangat baik memastikan prestasi yang boleh dipercayai untuk RTA, RTP, atau pembersihan kimia yang keras.
Baca LagiHantar PertanyaanPembawa Salutan Semicorex RTP/RTA SiC direka bentuk untuk menahan keadaan paling sukar dalam persekitaran pemendapan. Dengan haba yang tinggi dan rintangan kakisan, produk ini direka untuk memberikan prestasi optimum untuk pertumbuhan epitaxial. Pembawa bersalut SiC mempunyai kekonduksian terma yang tinggi dan sifat pengagihan haba yang sangat baik, memastikan prestasi yang boleh dipercayai untuk RTA, RTP atau pembersihan kimia yang keras.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate untuk MOCVD menawarkan rintangan haba yang unggul dan keseragaman terma, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer semikonduktor. Dengan grafit bersalut SiC berkualiti tinggi, produk ini direka bentuk untuk menahan persekitaran pemendapan paling keras untuk pertumbuhan epitaxial. Kekonduksian terma yang tinggi dan sifat pengedaran haba yang sangat baik memastikan prestasi yang boleh dipercayai untuk RTA, RTP, atau pembersihan kimia yang keras.
Baca LagiHantar PertanyaanPlat Pembawa RTP Bersalut Semicorex SiC untuk Pertumbuhan Epitaxial ialah penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer semikonduktor. Dengan susceptor grafit karbon berkualiti tinggi dan mangkuk kuarza yang diproses oleh MOCVD pada permukaan grafit, seramik, dsb., produk ini sesuai untuk pengendalian wafer dan pemprosesan pertumbuhan epitaxial. Pembawa bersalut SiC memastikan kekonduksian terma yang tinggi dan sifat pengedaran haba yang sangat baik, menjadikannya pilihan yang boleh dipercayai untuk RTA, RTP atau pembersihan kimia yang keras.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex ialah pengeluar dan pembekal Susceptor Grafit Bersalut Silikon Karbida berskala besar di China. Susceptor grafit semicorex direka bentuk khusus untuk peralatan epitaksi dengan rintangan haba dan kakisan yang tinggi di China. Pembawa Bersalut SiC RTP RTA kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda.
Baca LagiHantar Pertanyaan