Salutan SiC ialah lapisan nipis pada susceptor melalui proses pemendapan wap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan beberapa kelebihan berbanding silikon, termasuk 10x kekuatan medan elektrik pecahan, 3x jurang jalur, yang menyediakan bahan dengan suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik serta kekonduksian terma.
Semicorex menyediakan perkhidmatan tersuai, membantu anda berinovasi dengan komponen yang tahan lebih lama, mengurangkan masa kitaran dan meningkatkan hasil.
Salutan SiC mempunyai beberapa kelebihan unik
Rintangan Suhu Tinggi: Susceptor bersalut CVD SiC boleh menahan suhu tinggi sehingga 1600°C tanpa mengalami degradasi haba yang ketara.
Rintangan Kimia: Salutan silikon karbida memberikan rintangan yang sangat baik terhadap pelbagai bahan kimia, termasuk asid, alkali dan pelarut organik.
Rintangan Haus: Salutan SiC menyediakan bahan dengan rintangan haus yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang melibatkan haus dan lusuh yang tinggi.
Kekonduksian Terma: Salutan SiC CVD menyediakan bahan dengan kekonduksian terma yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan pemindahan haba yang cekap.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Suseptor bersalut silikon karbida menyediakan bahan dengan kekuatan dan kekakuan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang memerlukan kekuatan mekanikal yang tinggi.
Salutan SiC digunakan dalam pelbagai aplikasi
Pengilangan LED: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam pembuatan diproses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan LED UV dalam, kerana kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan kimia.
Komunikasi mudah alih: Susceptor bersalut CVD SiC ialah bahagian penting HEMT untuk melengkapkan proses epitaxial GaN-on-SiC.
Pemprosesan Semikonduktor: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk pelbagai aplikasi, termasuk pemprosesan wafer dan pertumbuhan epitaxial.
Komponen grafit bersalut SiC
Diperbuat oleh grafit Salutan Silikon Karbida (SiC), salutan digunakan dengan kaedah CVD untuk gred tertentu grafit berketumpatan tinggi, supaya ia boleh beroperasi dalam relau suhu tinggi dengan lebih 3000 °C dalam suasana lengai, 2200°C dalam vakum .
Ciri khas dan jisim bahan yang rendah membolehkan kadar pemanasan yang cepat, pengagihan suhu seragam dan ketepatan yang luar biasa dalam kawalan.
Data bahan Salutan Semicorex SiC
Sifat tipikal |
Unit |
Nilai |
Struktur |
|
fasa FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 diutamakan |
Ketumpatan pukal |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasiti Haba |
J kg-1 K-1 |
640 |
Pengembangan terma 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt selekoh, 1300℃) |
430 |
Saiz Bijirin |
μm |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 mata) |
415 |
Kekonduksian terma |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Suseptor bersalut CVD SiC ialah bahan komposit yang menggabungkan sifat suseptor dan silikon karbida. Bahan ini mempunyai sifat unik, termasuk suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik, kekonduksian haba yang tinggi, dan kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Ciri-ciri ini menjadikannya bahan yang menarik untuk pelbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemprosesan semikonduktor, pemprosesan kimia, rawatan haba, pembuatan sel solar dan pembuatan LED.
Semicorex ialah pembekal dan pengilang yang dipercayai susceptor grafit salutan karbida silikon untuk MOCVD. Produk kami direka khas untuk memenuhi keperluan industri semikonduktor dalam mengembangkan lapisan epitaxial pada cip wafer. Produk ini digunakan sebagai plat tengah dalam MOCVD, dengan reka bentuk gear atau berbentuk cincin. Ia mempunyai rintangan haba dan kakisan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam persekitaran yang melampau.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex ialah pembekal dan pengilang Platform Satelit Grafit MOCVD Bersalut SiC yang terkenal. Produk kami direka khas untuk memenuhi keperluan industri semikonduktor dalam mengembangkan lapisan epitaxial pada cip wafer. Produk ini digunakan sebagai plat tengah dalam MOCVD, dengan reka bentuk gear atau berbentuk cincin. Ia mempunyai rintangan haba dan kakisan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam persekitaran yang melampau.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex ialah pengeluar terkenal dan pembekal Plat Cakera Penutup Bintang MOCVD berkualiti tinggi untuk Wafer Epitaxy. Produk kami direka khas untuk memenuhi keperluan industri semikonduktor, terutamanya dalam mengembangkan lapisan epitaxial pada cip wafer. Susceptor kami digunakan sebagai plat tengah dalam MOCVD, dengan reka bentuk gear atau berbentuk cincin. Produk ini sangat tahan terhadap haba tinggi dan kakisan, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam persekitaran yang melampau.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex ialah pembekal dan pengeluar terkemuka MOCVD Susceptor untuk Pertumbuhan Epitaxial. Produk kami digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor, terutamanya dalam pertumbuhan lapisan epitaxial pada cip wafer. Susceptor kami direka bentuk untuk digunakan sebagai plat tengah dalam MOCVD, dengan reka bentuk gear atau berbentuk cincin. Produk ini mempunyai rintangan haba dan kakisan yang tinggi, menjadikannya stabil dalam persekitaran yang melampau.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex ialah pengeluar dan pembekal terkemuka SiC Coated MOCVD Susceptor. Produk kami direka khas untuk industri semikonduktor untuk mengembangkan lapisan epitaxial pada cip wafer. Pembawa grafit bersalut Silicon Carbide ketulenan tinggi digunakan sebagai plat tengah dalam MOCVD, dengan reka bentuk gear atau berbentuk cincin. Susceptor kami digunakan secara meluas dalam peralatan MOCVD, memastikan rintangan haba dan kakisan yang tinggi, dan kestabilan yang hebat dalam persekitaran yang melampau.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex ialah pengeluar dan pembekal Susceptor Grafit Bersalut Silikon Karbida berskala besar di China. Kami memberi tumpuan kepada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Susceptor Grafit Bersalut SiC kami untuk MOCVD mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda.
Baca LagiHantar Pertanyaan