Tiub Proses Silikon Karbida

Tiub Proses Karbida Silikon Semicorex ialah komponen penting dalam bidang pembuatan semikonduktor, direka khusus untuk digunakan dalam relau menegak yang digunakan dalam pelbagai aplikasi pemprosesan semikonduktor seperti RTP, resapan. Tiub khusus ini memainkan peranan penting dalam memudahkan rawatan haba terkawal dan tepat bagi wafer semikonduktor semasa perjalanan mereka melalui proses fabrikasi kritikal.

Dibina daripada silikon karbida ketulenan tinggi, Tiub Proses Silikon Karbida ini mempamerkan kekonduksian terma yang luar biasa, ketahanan terhadap suhu melampau dan kekuatan mekanikal yang luar biasa. Sifat bahannya yang unik menjadikannya pilihan ideal untuk aplikasi yang menuntut suhu tinggi dan persekitaran kimia yang keras yang biasa ditemui dalam pemprosesan semikonduktor.

Dalam relau menegak, Tiub Proses Silicon Carbide menyediakan suasana perlindungan dan terkawal untuk wafer semikonduktor semasa mereka menjalani proses seperti RTP. RTP melibatkan kitaran pemanasan dan penyejukan pantas yang penting untuk mengaktifkan dopan, penyepuhlindapan dan rawatan terma lain yang penting untuk fabrikasi peranti semikonduktor. Sifat teguh Tiub Proses Karbida Silikon memastikan jangka hayat dan kebolehpercayaan dalam persekitaran terma dan kimia yang menuntut sedemikian, menyumbang kepada kecekapan dan ketepatan keseluruhan proses pembuatan semikonduktor.