Silikon karbida vakum chuck

Semicorex silikon karbida vakum chuck adalah bahagian penting dalam pembuatan semikonduktor untuk proses yang memerlukan ketepatan yang tinggi dan pencemaran yang rendah. Chucks vakum dibuat dari seramik karbida silikon berliang tinggi dan memberikan kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekonduksian terma, dan inertness kimia, dan mempunyai struktur liang yang dikawal secara tepat untuk pengekalan vakum yang boleh dipercayai. Chuck vakum karbida silikon adalah peranti penjerapan berfungsi yang diperbuat daripada bahan seramik silikon karbida (sic), yang bergantung kepada tekanan negatif vakum, penjerapan elektrostatik atau pengapit mekanikal untuk memberikan genggaman yang stabil dari bahan kerja. Chuck vakum telah digunakan dalam semikonduktor, fotovoltaik, pembuatan tepat dan aplikasi lain yang mempunyai permintaan yang luar biasa tinggi untuk rintangan suhu tinggi bahan, rintangan haus dan kebersihan.

PangkalanChuckadalah bahan sic berliang, yang mempunyai permeans udara yang boleh diramal di permukaannya. Ini bermakna adalah mungkin untuk menyerap wafer dengan selamat tanpa penjepit mekanikal dan oleh itu tidak materialisasi potensi kerosakan fizikal atau pencemaran sampel. Porositi bahan dikawal ketat - biasanya mempunyai keliangan 35-40% - untuk menyediakan pengedaran vakum yang betul tetapi juga memenuhi keperluan struktur untuk berbasikal termal dan mekanikal yang tahan lama.

Wafer Vacuum Chucksbiasanya diperbuat daripada permukaan keras dengan banyak lubang kecil atau saluran di permukaan. Melalui lubang -lubang kecil ini, chuck boleh disambungkan ke pam vakum, yang menghasilkan kesan vakum. Apabila wafer diletakkan di atas chuck, pam vakum dihidupkan dan udara ditarik melalui lubang -lubang kecil, membuat vakum antara wafer dan chuck. Kesan vakum ini mencetuskan sedutan yang cukup untuk melampirkan wafer ke permukaan chuck.

Permukaan seramik sering digunakan dalam aplikasi yang memerlukan kesucian dan kestabilan kimia yang tinggi. Seramik adalah bahan yang dihasilkan oleh gabungan suhu tinggi mineral. Secara umumnya, seramik adalah penebat elektrik atau semikonduktor dan mempunyai rintangan yang tinggi terhadap kerosakan terma, hakisan dan kerosakan.

Semicorex membina vakum silikon karbida silikon adat kepada spesifikasi pelanggan untuk perkara -perkara seperti dimensi, keliangan, kemasan permukaan dan corak untuk penyaluran vakum. Hasil daripada keupayaan bilik pembuatan dan bersih kami, kami menawarkan yang terbaik dalam penumpahan partikulat rendah dan kebersihan untuk menampung keperluan kebersihan semua pengeluar dan pengeluar peralatan semikonduktor.

Kami boleh membuat chuck untuk apa-apa wafer saiz, dari wafer 2 inci hingga 12 inci dan menyesuaikan diri untuk mengintegrasikan chuck ke dalam banyak peralatan pemprosesan wafer. Ia boleh digunakan untuk proses front-end dan/atau proses back-end, menjadikan vakum SIC chuck sebagai cara yang ekonomik, tepat, stabil dan pencemaran percuma untuk sokongan wafer dalam aliran kerja fab semikonduktor.

Chuck vakum karbida silikon adalah alat penting dalam pembuatan semikonduktor hari ini, menggabungkan bahan dan kejuruteraan terbaik. Kebolehpercayaan yang tahan lama dan berpegang teguh melalui ekstrem haba dan kimia menjadikannya sokongan sempurna dalam aplikasi proses yang termasuk, waxing, penipisan, pembersihan dan RTA. Dengan mendapatkan vakum silikon karbida silikon anda melalui Semicorex anda memastikan kesucian bahan terbaik, penyelesaian tersuai dan prestasi yang boleh dipercayai untuk hasil yang lebih baik di semua garis pemprosesan wafer anda.