Pembawa Wafer Silikon

Semicorex menyediakan seramik gred semikonduktor untuk alat separa fabrikasi OEM anda dan komponen pengendalian wafer yang memfokuskan pada lapisan silikon karbida dalam industri semikonduktor. Kami telah menjadi pengilang dan pembekal Silicon Wafer Carrier selama bertahun-tahun. Pembawa Wafer Silikon kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Proses pemendapan semikonduktor menggunakan gabungan gas prekursor yang meruap, plasma dan suhu tinggi untuk melapisi filem nipis berkualiti tinggi pada wafer. Ruang pemendapan dan alat pengendalian wafer memerlukan komponen seramik yang tahan lama untuk menghadapi persekitaran yang mencabar ini.
Pembawa Wafer Silikon Semicorex ialah silikon karbida ketulenan tinggi, yang mempunyai sifat tahan kakisan dan haba yang tinggi serta kekonduksian terma yang sangat baik.

Parameter Pembawa Wafer Silikon

Sifat Teknikal
Indeks	Unit	Nilai
Nama Bahan		Tindak balas Sintered Silicon Carbide	Silikon Karbida Tersinter Tanpa Tekanan	Karbida Silikon Terhablur Semula
Komposisi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Ketumpatan Pukal	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Kekuatan lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Kekuatan Mampatan	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Butang	2700	2800	/
Memecah Ketabahan	MPa m1/2	4.5	4	/
Kekonduksian Terma	W/m.k	95	120	23
Pekali Pengembangan Terma	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Haba Tertentu	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimum dalam udara	℃	1200	1500	1600
Modulus Elastik	Gpa	360	410	240

Perbezaan antara SSiC dan RBSiC:

1. Proses pensinteran adalah berbeza. RBSiC adalah untuk menyusup Si bebas ke dalam silikon karbida pada suhu rendah, SSiC dibentuk oleh pengecutan semula jadi pada 2100 darjah.

2. SSiC mempunyai permukaan yang lebih licin, ketumpatan yang lebih tinggi dan kekuatan yang lebih tinggi, untuk beberapa pengedap dengan keperluan permukaan yang lebih ketat, SSiC akan menjadi lebih baik.

3. Masa penggunaan yang berbeza di bawah PH dan suhu yang berbeza, SSiC lebih panjang daripada RBSiC

Ciri-ciri Pembawa Wafer Silikon

Grafit bersalut SiC ketulenan tinggi
Rintangan haba yang unggul & keseragaman haba
Disalut kristal SiC halus untuk permukaan licin
Ketahanan tinggi terhadap pembersihan kimia
Bahan direka supaya keretakan dan delaminasi tidak berlaku.

Bentuk seramik silikon karbida yang tersedia:

● Batang seramik / pin seramik / pelocok seramik

● Tiub seramik / sesendal seramik / lengan seramik

● Cincin seramik / mesin basuh seramik / pengatur jarak seramik

● Cakera seramik

● Pinggan seramik / blok seramik

● Bola seramik

● Omboh seramik

● Muncung seramik

● Pisau seramik

● Bahagian seramik tersuai lain