Bot Wafer Menegak

Bot Wafer Menegak Semicorex ialah pembawa yang direka khas untuk berbilang wafer yang memaksimumkan kecekapan ruang dalam ruang pemprosesan. Bot Wafer Menegak ini biasanya berbentuk segi empat tepat atau silinder, dan setiap bot mempunyai slot atau poket mesin ketepatan yang dijarakkan untuk memegang wafer individu dalam kedudukan tegak dengan selamat. Bot Wafer Menegak dibina daripada Silicon Carbide (SiC) yang memberikan ketahanan yang sangat baik terhadap suhu tinggi, bahan kimia menghakis dan tekanan mekanikal, menjadikannya ideal untuk melindungi wafer daripada kemungkinan kerosakan.

Semasa fabrikasi semikonduktor, wafer mengalami banyak proses yang rumit, termasuk resapan, RTP, dan medan terma. Bot Wafer Menegak memainkan peranan penting dalam memudahkan proses ini dengan berfungsi sebagai pembawa untuk wafer, membolehkan pemindahan lancar antara peralatan dan peringkat yang berbeza. Orientasi menegaknya meminimumkan jejak dalam ruang pemprosesan, mengoptimumkan daya pengeluaran, dan membolehkan pengendalian yang cekap bagi kumpulan besar wafer.

Bot Wafer Menegak Semicorex ialah asas pemprosesan semikonduktor, menyediakan penyelesaian yang teguh dan boleh dipercayai untuk pengendalian dan pengangkutan wafer yang selamat sepanjang pelbagai peringkat fabrikasi. Reka bentuk termajunya, ditambah dengan sifat luar biasa SiC, menggariskan peranan pentingnya dalam pengeluaran peranti semikonduktor termaju.