Bot Wafer untuk Proses Semikonduktor

Semicorex menyediakan bot wafer, alas dan pembawa wafer tersuai untuk konfigurasi menegak / lajur dan mendatar. Kami telah menjadi pengilang dan pembekal filem salutan silikon karbida selama bertahun-tahun. Bot Wafer kami untuk Proses Semikonduktor mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Bot Wafer SiC Semicorex untuk Proses Semikonduktor, penyelesaian muktamad untuk pengendalian dan perlindungan wafer dalam pembuatan semikonduktor. Bot wafer kami untuk proses semikonduktor diperbuat daripada silikon karbida berkualiti tinggi, yang mempunyai ketahanan yang baik terhadap kakisan dan rintangan yang sangat baik terhadap suhu tinggi dan kejutan haba. Seramik termaju memberikan rintangan haba dan ketahanan plasma yang sangat baik sambil mengurangkan zarah dan bahan cemar untuk pembawa wafer berkapasiti tinggi.

Parameter Bot Wafer untuk Proses Semikonduktor

Sifat Teknikal
Indeks	Unit	Nilai
Nama Bahan		Tindak balas Sintered Silicon Carbide	Silikon Karbida Tersinter Tanpa Tekanan	Karbida Silikon Terhablur Semula
Komposisi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Ketumpatan pukal	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Kekuatan lenturan	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Kekuatan mampatan	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Knoop	2700	2800	/
Memecah Ketabahan	MPa m1/2	4.5	4	/
Kekonduksian terma	W/m.k	95	120	23
Pekali Pengembangan Terma	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Haba Tertentu	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimum dalam udara	℃	1200	1500	1600
Modulus Elastik	Gpa	360	410	240

Ciri-ciri Bot Wafer untuk Proses Semikonduktor

Rintangan haba yang unggul & keseragaman haba
Disalut kristal SiC halus untuk permukaan licin
Ketahanan tinggi terhadap pembersihan kimia
Bahan direka supaya keretakan dan delaminasi tidak berlaku.