Bot Wafer

Bot Wafer Semicorex direka untuk menahan keadaan keras relau resapan, seperti suhu tinggi, persekitaran yang menghakis dan keperluan untuk penempatan wafer yang tepat semasa proses resapan.

Bot Wafer diperbuat daripada seramik Silicon Carbide, dipilih untuk ciri-cirinya yang luar biasa. Silicon Carbide terkenal dengan kekonduksian terma yang tinggi, memastikan pengagihan suhu sekata merentasi wafer semasa resapan. Keseragaman ini adalah penting untuk mengekalkan integriti wafer dan memastikan tahap doping yang konsisten, yang penting untuk kefungsian peranti semikonduktor yang dihasilkan. Selain itu, takat lebur dan kestabilan terma Silicon Carbide yang tinggi membolehkan Wafer Boat beroperasi pada suhu tinggi yang diperlukan dalam proses resapan, selalunya melebihi 1000°C, tanpa merendahkan atau mengherotkan.

Salah satu kelebihan utama seramik Silicon Carbide dalam Wafer Boat ialah rintangan kimia yang sangat baik. Rintangan ini amat penting dalam mengekalkan ketulenan wafer semikonduktor, kerana sebarang pencemaran boleh membawa kepada kecacatan pada produk akhir, menjejaskan prestasi litar bersepadu.

Keutuhan struktur Bot Wafer merupakan satu lagi faktor kritikal dalam reka bentuknya. Reka bentuk mesti memastikan bahawa wafer dipegang dengan selamat di tempatnya, dengan jarak yang tepat untuk membolehkan pendedahan sekata kepada gas reaktif. Ketepatan ini adalah penting untuk mencapai doping seragam merentas semua wafer, yang secara langsung memberi kesan kepada ciri elektrik peranti semikonduktor.

Selain sifat terma dan kimianya, seramik Silicon Carbide menawarkan kestabilan dimensi yang sangat baik, penting untuk keperluan ketepatan tinggi pembuatan semikonduktor. Kestabilan ini memastikan bahawa wafer kekal sejajar dengan sempurna, membolehkan resapan dopan yang tepat dan seragam merentasi seluruh permukaan setiap wafer, yang membawa kepada pengeluaran peranti semikonduktor berkualiti tinggi.

Bot Wafer Semicorex yang diperbuat daripada seramik Silicon Carbide merupakan komponen penting dalam proses resapan semikonduktor. Kekonduksian haba yang luar biasa, rintangan kimia, kekuatan mekanikal, dan kestabilan dimensi menjadikannya sangat sesuai untuk keadaan pembuatan semikonduktor yang mencabar. Penggunaannya bukan sahaja meningkatkan kecekapan dan kebolehpercayaan proses resapan tetapi juga menyumbang kepada keberkesanan kos keseluruhan pembuatan semikonduktor.