Bot wafer

Bot wafer Semicorex yang dihasilkan dari silikon karbida silikon tinggi (sic) adalah komponen penting dalam fabrikasi semikonduktor. Proses semikonduktor di mana ia digunakan biasanya termasuk persekitaran suhu tinggi dan menghakis seperti penyebaran, pengoksidaan, dan proses LPCVD. Penggunaan bot wafer SIC telah direkayasa untuk memaksimumkan kestabilan haba dan rintangan kimia, yang membolehkan sokongan optimum, penjajaran dan pengangkutan wafer silikon semasa pemprosesan hasil optimum dan prestasi peranti.

Karbida silikon didokumentasikan dengan baik sebagai seramik konduktif termal yang sangat baik, mempamerkan kekuatan mekanikal yang tinggi dan rintangan kejutan terma unggul, rintangan pengoksidaan, dan rintangan kimia yang agresif dengan bahan kimia seperti HF dan HCL. Ciri-ciri SIC menjadikannya sangat menarik sebagai bahan untuk bot wafer untuk proses fabrikasi semikonduktor generasi akan datang dan dalam persekitaran suhu tinggi. Bot wafer sic boleh mengekalkan integriti struktur dan kestabilan dimensi pada suhu proses> 1500 ° C, meminimumkan risiko melengkapkan atau pencemaran wafer dalam rawatan terma kritikal.

Setiap sicBot waferdihasilkan dari SIC kesakitan yang tinggi menggunakan proses pembentukan seramik dan sintering maju, dan boleh disesuaikan untuk pelbagai jenis wafer diameter (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) serta menyusun konfigurasi sama ada menegak atau mendatar. Bot wafer SIC kami mempunyai permukaan yang lancar dan kebosanan yang sangat baik yang meminimumkan penjanaan zarah dan sesuai untuk sistem pengendalian wafer automatik.

Kawalan dan hasil pencemaran adalah dua isu yang paling kritikal dalam fabs moden. Kebersihan dan kebolehpercayaan pembawa wafer SIC mempengaruhi kualiti produk dan prestasi proses konsistensi.  Bot wafer sic mempunyai umur panjang yang lebih baik untuk penggunaan, mempunyai keperluan penyelenggaraan yang lebih sedikit dan TCO yang lebih rendah daripada alternatif kuarza atau alumina. Panjang umur yang lebih baik juga bermakna masalah yang lebih sedikit dengan penumpahan mikro-zarah, oleh itu sekali lagi, memberi kesan kepada kebersihan permukaan wafer dan memberi kesan kepada kebersihan bilik bersih.

Semicorex difokuskan pada merancang dan mengeluarkan bot wafer SIC yang menggunakan bahan mentah kemurnian tertinggi yang digabungkan dengan sintering suasana pencemaran yang rendah.  Kami berusaha untuk mengekalkan tahap kekotoran yang rendah, untuk mengekalkan keliangan pada nilai yang rendah, dan mikrostruktur seragam supaya kerja pasukan dapat menikmati ciri -ciri terma yang konsisten, jarak wafer yang tepat dan rintangan degradasi kimia yang tidak dapat ditandingi.

Semicorex sicbot waferadalah elemen yang diperlukan untuk pemprosesan suhu tinggi semikonduktor. Kapal wafer silikon silikon tinggi mempunyai ciri-ciri material yang tiada tandingan, kecemerlangan kejuruteraan, dan perangai tanpa pencemaran mikro, menjadikan mereka pilihan tahap tinggi untuk fabrikasi wafer prestasi tinggi. Semicorex menyediakan kebolehpercayaan dan prestasi tinggi yang inovatif untuk menyokong proses semikonduktor kritikal misi anda yang paling.