Rumah > Produk > Bersalut Silikon Karbida > Pembawa Etching ICP > Plat Pembawa Etching ICP
Plat Pembawa Etching ICP

Plat Pembawa Etching ICP

Plat Pembawa Etching ICP Semicorex ialah penyelesaian yang sempurna untuk menuntut pengendalian wafer dan proses pemendapan filem nipis. Produk kami menyediakan rintangan haba dan kakisan yang unggul, malah keseragaman haba, dan corak aliran gas lamina. Dengan permukaan yang bersih dan licin, pembawa kami sesuai untuk mengendalikan wafer asli.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Plat Pembawa Etching ICP Semicorex memberikan ketahanan dan jangka hayat yang sangat baik untuk pengendalian wafer dan proses pemendapan filem nipis. Produk kami mempunyai rintangan haba dan kakisan yang unggul, malah keseragaman terma, dan corak aliran gas lamina. Dengan permukaan yang bersih dan licin, pembawa kami memastikan pengendalian wafer murni yang optimum. Tarik suhu tinggi, pembersihan kimia, serta keseragaman haba yang tinggi.
Hubungi kami hari ini untuk mengetahui lebih lanjut tentang Plat Pembawa Etsa ICP kami.


Parameter Plat Pembawa Etching ICP

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC

Sifat SiC-CVD

Struktur Kristal

Fasa FCC β

Ketumpatan

g/cm ³

3.21

Kekerasan

Kekerasan Vickers

2500

Saiz bijirin

μm

2~10

Ketulenan Kimia

%

99.99995

Kapasiti Haba

J·kg-1 ·K-1

640

Suhu Sublimasi

2700

Kekuatan Feleksural

MPa (RT 4 mata)

415

Modulus Muda

Gpa (4pt selekoh, 1300â)

430

Pengembangan Terma (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Kekonduksian terma

(W/mK)

300


Ciri-ciri Plat Pembawa Etching ICP

- Elakkan mengelupas dan pastikan salutan pada semua permukaan

Rintangan pengoksidaan suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi sehingga 1600°C

Ketulenan tinggi: dibuat oleh pemendapan wap kimia CVD di bawah keadaan pengklorinan suhu tinggi.

Rintangan kakisan: kekerasan tinggi, permukaan padat dan zarah halus.

Rintangan kakisan: asid, alkali, garam dan reagen organik.

- Mencapai corak aliran gas lamina terbaik

- Menjamin kesekataan profil terma

- Elakkan sebarang pencemaran atau resapan bendasing





Teg Panas: Plat Pembawa Etching ICP, China, Pengilang, Pembekal, Kilang, Disesuaikan, Pukal, Lanjutan, Tahan Lama

Kategori Berkaitan

Hantar Pertanyaan

Sila berasa bebas untuk memberikan pertanyaan anda dalam borang di bawah. Kami akan membalas anda dalam masa 24 jam.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept