Rumah > Produk > Bersalut Silikon Karbida > Pembawa Etching ICP > Pemegang Wafer Etching ICP
Pemegang Wafer Etching ICP

Pemegang Wafer Etching ICP

Pemegang wafer etsa ICP Semicorex ialah penyelesaian yang sempurna untuk proses pengendalian wafer suhu tinggi seperti epitaksi dan MOCVD. Dengan rintangan pengoksidaan suhu tinggi yang stabil sehingga 1600°C, pembawa kami memastikan profil haba yang sekata, corak aliran gas lamina dan mengelakkan pencemaran atau resapan bendasing.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Mencari pembekal pembawa wafer yang boleh dipercayai untuk peralatan epitaksi anda? Jangan lihat lebih jauh daripada Semicorex. Pemegang wafer etsa ICP kami direka bentuk khusus untuk persekitaran pembersihan kimia bersuhu tinggi dan keras. Dengan salutan kristal SiC yang halus, pembawa kami memberikan rintangan haba yang unggul, malah keseragaman haba dan rintangan kimia yang tahan lama.
Pemegang Wafer Etsa ICP kami direka untuk mencapai corak aliran gas lamina terbaik, memastikan kesamaan profil terma. Ini membantu mengelakkan sebarang pencemaran atau resapan kekotoran, memastikan pertumbuhan epitaxial berkualiti tinggi pada cip wafer.
Hubungi kami hari ini untuk mengetahui lebih lanjut mengenai Pemegang Wafer Etsa ICP kami.


Parameter Pemegang Wafer Etsa ICP

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC

Sifat SiC-CVD

Struktur Kristal

Fasa FCC β

Ketumpatan

g/cm ³

3.21

Kekerasan

Kekerasan Vickers

2500

Saiz bijirin

μm

2~10

Ketulenan Kimia

%

99.99995

Kapasiti Haba

J·kg-1 ·K-1

640

Suhu Sublimasi

2700

Kekuatan Feleksural

MPa (RT 4 mata)

415

Modulus Muda

Gpa (4pt selekoh, 1300â)

430

Pengembangan Terma (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Kekonduksian terma

(W/mK)

300


Ciri-ciri Pemegang Wafer Etching ICP

- Elakkan mengelupas dan pastikan salutan pada semua permukaan

Rintangan pengoksidaan suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi sehingga 1600°C

Ketulenan tinggi: dibuat oleh pemendapan wap kimia CVD di bawah keadaan pengklorinan suhu tinggi.

Rintangan kakisan: kekerasan tinggi, permukaan padat dan zarah halus.

Rintangan kakisan: asid, alkali, garam dan reagen organik.

- Mencapai corak aliran gas lamina terbaik

- Menjamin kesekataan profil terma

- Elakkan sebarang pencemaran atau resapan bendasing





Teg Panas: Pemegang Wafer Etching ICP, China, Pengilang, Pembekal, Kilang, Disesuaikan, Pukal, Lanjutan, Tahan Lama

Kategori Berkaitan

Hantar Pertanyaan

Sila berasa bebas untuk memberikan pertanyaan anda dalam borang di bawah. Kami akan membalas anda dalam masa 24 jam.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept