Cincin Berslot Poli-Si

Gelang berlubang Poli-Si biasanya dipasang di ruang tindak balas peralatan etsa semikonduktor termaju. Mereka beroperasi secara sinergi dengan bahagian silikon, termasuk silikoncincin fokus, gelang luar silikon, dan silikonkepala pancuran mandian. Bahagian-bahagian ini boleh mewujudkan persekitaran tindak balas yang stabil dan optimum untuk proses etsa, memastikan kecemerlangangoresanketepatan dan ketekalan proses.

Fungsi cincin berslot Semicorex poly-Si

1. Gelang berslot poli-Si semicorex dilengkapi dengan berbilang slot teragih sama rata yang berfungsi sebagai laluan gas, yang membolehkan gas proses mengalir lancar selepas tindak balas.

2. Cincin berlubang poli-Si semicorex mampu mencapai kawalan plasma yang sangat baik, menawarkan perlindungan yang boleh dipercayai untuk ruang tindak balas peralatan etsa semikonduktor.

3. Gelang berslot poli-Si semicorex boleh membantu melaraskan medan elektrik dan tekanan ruang, dengan itu menghalang ketidakstabilan daripada menjejaskan konsistensi proses goresan.

Pemilihan bahan standard tinggi

Cincin berslot poli-Si semicorex dihasilkan daripada silikon polihabluran berkualiti tinggi dengan tahap ketulenan melebihi 99.9999%, yang memberikannya sifat unggul seperti berikut.

1. Ketulenan ultra tinggi dan kandungan kekotoran yang sangat rendah.

2. Rintangan kakisan plasma yang luar biasa.

3. Sifat elektrik yang menguntungkan, dengan keseragaman rintangan: RRG ≤ 5%, res rendah. (<0.02), semula tengah. (1–4), dan resolusi tinggi. (70–90).

Keupayaan pembuatan dan kawalan kualiti

Dilengkapi dengan peralatan pemesinan termaju dan pasukan teknikal yang berpengalaman, Semicorex mengawal ketat setiap proses pengeluaran dan menawarkan cincin berslot poli-Si berkualiti tinggi dan dipadankan dengan baik kepada pelanggan kami yang dihargai. Sebagai tambahan, Semicorex menjalankan kawalan ketat ke atas pengukuran dimensi, ujian kerintangan dan pemeriksaan visual pada gelang berslot poli-Si siap untuk memastikan ia bebas daripada kecacatan seperti serpihan, calar, retak dan noda.